Thu ảnh SEM bằng Điện tử Tán xạ ngược kết hợp Tia X (BEX - Backscattered Electron and X-ray) là một kỹ thuật thực hiện trên Kính hiển vi điện tử quét (SEM), thu nhận đồng thời cả tín hiện Điện tử Tán xạ ngược (BSE) và Tia X trên cùng một đầu dò BEX duy nhất.
Các tín hiệu được đầu dò BEX thu nhận và kết hợp tạo ra hình ảnh màu có độ phân giải cao, cung cấp đồng thời thông tin hình thái và thành phần vật liệu khác nhau. Hình ảnh thu được ở tốc độ quét chậm hơn và hoạt động ở các điều kiện (thông số quét) hình ảnh SEM thông thường.

Tiếng Việt
日本語 (Japan)
한국어 (Korean)
中文 (Chinese)
English (UK)
