Trong nhiều năm qua, laser thường bị coi là công cụ gia công vi mô "thô" – tuy nhanh nhưng để lại bề mặt không sạch, đòi hỏi các bước xử lý hậu kỳ phức tạp. Điều này đã hạn chế vai trò của laser trong các quy trình làm việc (workflow) tiên tiến của ngành bán dẫn. Tuy nhiên, sự ra đời của TESCAN FemtoChisel™ đã thay đổi hoàn toàn cuộc chơi.

Hãy cùng các chuyên gia từ TESCAN khám phá sức mạnh của nền tảng laser femtosecond thế hệ mới này trong buổi webinar đặc biệt sắp tới.

Thời gian:

• Giáo sư Sina Shahbazmohamadi – Trưởng bộ phận Công nghệ (Head of Technology) tại TESCAN.
• Ông Nicholas May – Trưởng bộ phận Ứng dụng & Vận hành (Head of Applications & Operations) tại TESCAN.

Diễn giả:

• Giáo sư Sina Shahbazmohamadi – Trưởng bộ phận Công nghệ (Head of Technology) tại TESCAN.
• Ông Nicholas May – Trưởng bộ phận Ứng dụng & Vận hành (Head of Applications & Operations) tại TESCAN.

Nội dung chính của Webinar

Buổi hội thảo trực tuyến sẽ tập trung vào khả năng độc bản giúp FemtoChisel™ trở thành nền tảng đột phá cho việc kiểm tra vi điện tử thế hệ mới và xử lý vật liệu tiên tiến:

• Độ chính xác tuyệt đối: Kết hợp gia công chính xác bằng xung laser femtosecond thực thụ với khả năng lựa chọn đa bước sóng.

• Công nghệ độc quyền: Tìm hiểu về hệ thống xử lý đa khí thông minh (Intelligent Multi-Gas Processing) và thị giác máy tương quan đa chế độ.

• Tối ưu hóa quy trình: Cách FemtoChisel™ tăng tốc các tác vụ khó khăn như cắt lớp diện tích lớn (large-area cross-sectioning) và chuẩn bị mẫu nâng cao.

• Trải nghiệm thực tế: Trình diễn trực tiếp quá trình vận hành trên thiết bị thực, từ bước gắn mẫu, nhắm mục tiêu thông minh qua giao diện phần mềm đến bước kiểm tra kết quả cuối cùng.

Tại sao FemtoChisel™ lại tạo nên sự khác biệt?

• Tiết kiệm hơn 90% thời gian: So với các phương pháp truyền thống như Xe Plasma FIB (nhanh hơn tới 2000 lần) hay Ga FIB (nhanh hơn tới 10.000 lần), FemtoChisel giúp tăng tối đa năng suất phòng Lab.

• Bề mặt nguyên sơ (Pristine Surfaces): Giảm thiểu tối đa các mảnh vụn và vùng ảnh hưởng nhiệt (HAZ), cho phép đánh bóng FIB cuối cùng chỉ trong vài micron.

• Không kén vật liệu: Khả năng xử lý tốt trên các vật liệu hỗn hợp, vật liệu không dẫn điện (thủy tinh, polyme, gốm sứ) nhờ dải năng lượng laser linh hoạt.

• Độ chính xác cấp độ Nanomet: Tích hợp cảm biến chiều cao đồng tiêu (confocal height sensor) cho phép kiểm soát độ sâu với độ phân giải cực cao.

Webinar dành cho ai

• Các kỹ sư phân tích lỗi (Failure Analysis) trong ngành bán dẫn.

• Nhà nghiên cứu khoa học vật liệu và vi chế tạo (Micro/Nano fabrication).

• Quản lý phòng thí nghiệm đang tìm kiếm giải pháp đột phá để loại bỏ "nút thắt cổ chai" trong chuẩn bị mẫu.

Đăng ký tham dự Live Webinar tại đây