Mở rộng quy trình làm việc trong ngành bán dẫn với giải pháp gắp mẫu bên ngoài kính nhanh chóng, đáng tin cậy

Tescan EXLO™ tối ưu hóa quy trình gắp mẫu ngoài khoang nhờ bộ điều khiển cơ hóa trục XYZR, hệ thống quang học zoom đồng tiêu và phần mềm điều khiển trực quan. Hệ thống hỗ trợ các mẫu có kích thước lên đến 50 mm, tính năng xuất/nhập tọa độ, cùng các tùy chọn nâng cấp linh hoạt. Tăng năng suất và cắt giảm chi phí chuẩn bị mẫu nhờ khả năng tương thích toàn diện với nhiều dòng máy FIB khác nhau và phần mềm TEM AutoPrep Pro™.

Các lợi ích cốt lõi

• Giảm chi phí trên mỗi mẫu TEM: Tiết kiệm tối đa ngân sách vận hành cho từng mẫu.
• Tối đa hóa hiệu suất khai thác FIB-SEM: Giải phóng thời gian hoạt động của máy FIB-SEM chính để tập trung cho các tác vụ quan trọng hơn.
• Tăng hiệu suất phòng thí nghiệm: Tăng tốc độ xử lý tổng thể nhờ khả năng phân chia công việc song song.
• Đảm bảo kết quả TEM chất lượng cao, có tính lặp lại tốt: Đáp ứng hoàn hảo cho các quy trình chuẩn bị lượng mẫu lớn mà vẫn duy trì độ đồng đều.
• Đảm bảo độ ổn định của mẫu và độ tin cậy khi gắn mẫu: Giảm thiểu rủi ro rơi hoặc hỏng mẫu trong lúc thao tác chuyển mẫu.
• Giữ nguyên tính toàn vẹn của các mẫu nhạy cảm với không khí và mẫu chuẩn bị ở điều kiện âm sâu (cryo): Bảo vệ cấu trúc nguyên bản của các mẫu dễ bị biến tính do môi trường.