Kính hiển vi điện tử quét SEM có tên tiếng Anh là Scanning Electron Microscopy, là một kỹ thuật kiểm tra / phân tích không phá hủy nổi tiếng, kỹ thuật SEM sử dụng một đầu dò là chùm điện tử (electron), quét trên bề mặt mẫu, xuống độ phân giải thang nm (nanomet): [1nm =10-9m].
Kính hiển vi điện tử quét SEM tạo hình ảnh có độ phóng đại lớn (hàng chục nghìn, hàng trăm nghìn lần), độ phân giải cao (nm). Khả năng này đưa Kính hiển vi điện tử quét SEM trở nên phù hợp cho nhiều lãnh vực khoa học và ứng dụng công nghiệp.