Khi lựa chọn một kính hiển vi điện tử quét (SEM), độ phân giải thường được xem là thông số quyết định hiệu năng. Tuy nhiên, trên thực tế, thông số về độ phân giải hiếm khi quyết định những gì bạn cuối cùng có thể tìm hiểu được từ mẫu. Điều quan trọng không kém, hoặc thậm chí còn quan trọng hơn, là những electron nào được phát hiện, và cũng quan trọng không kém là những electron nào không được phát hiện.
Khi chùm electron của SEM tác động lên mẫu, nó tạo ra một đám mây tín hiệu phức tạp. Xét về các tín hiệu electron, đám mây này bao gồm electron thứ cấp (secondary electrons), phát sinh từ chính bề mặt mẫu, và electron tán xạ ngược (backscattered electrons) đến từ những vùng sâu hơn bên trong vật liệu. Các electron được phát ra với nhiều mức năng lượng và theo nhiều hướng khác nhau, đồng thời các loại tín hiệu khác nhau được tạo ra đều mang những thông tin có giá trị, nhưng vốn đã bị trộn lẫn với nhau.
Do đó, hình ảnh SEM không phải là sự biểu diễn trực tiếp của mẫu. Đó là một hình ảnh được “lọc”, được tạo ra và định hình bởi hệ thống detector. Nếu cơ chế lọc này không được kiểm soát, kết quả có thể gây hiểu nhầm. Các đặc trưng bề mặt, độ tương phản thành phần và những thông tin bổ sung từ bên dưới bề mặt có thể chồng lấn lên nhau theo những cách khiến việc diễn giải trở nên khó khăn hoặc thậm chí dẫn đến kết luận sai.
Điều này dẫn đến một nguyên tắc cơ bản: chụp ảnh SEM không phải là thu thập càng nhiều electron càng tốt, mà là lựa chọn đúng những electron cần thiết để trả lời các câu hỏi cụ thể về sự khác biệt vật liệu, hình dạng và địa hình bề mặt.

Tiếng Việt
日本語 (Japan)
한국어 (Korean)
中文 (Chinese)
English (UK)
