Phổ cập FIB-SEM tiên tiến với AI: Chuẩn bị mẫu TEM & cắt ngang thông minh

Sự phát triển của các quy trình tự động hóa tiên tiến trên các nền tảng FIB-SEM hiện đại (Plasma FIB-SEM) đang tăng tốc, nhờ vào việc tích hợp các kỹ thuật học máy và các mô hình AI được huấn luyện cục bộ. Những đổi mới này giúp nâng cao hiệu suất khai thác kính hiển vi, cho phép cả những người dùng chưa có nhiều kinh nghiệm về FIB-SEM cũng có thể thực hiện các phân tích phức tạp – chẳng hạn như chuẩn bị mẫu TEM dạng đảo ngược (inverted TEM) hoặc tạo cắt ngang nhiều vị trí – những công việc vốn trước đây cần hàng tháng đào tạo vận hành mới có thể thực hiện.

Ngoài ra, tự động hóa còn hỗ trợ vận hành không cần giám sát ngoài giờ làm việc, từ đó tăng đáng kể thông lượng mẫu vào ban đêm và cuối tuần. Việc “dân chủ hóa” (phổ cập) các quy trình FIB-SEM cho phép nhiều kỹ thuật viên tham gia vào công đoạn chuẩn bị mẫu, nhờ đó gia tăng năng suất và giảm chi phí trên mỗi mẫu.

Trong phiên này, chúng tôi sẽ giới thiệu các giải pháp tự động hóa mới nhất của TESCAN cho chuẩn bị mẫu TEM hoàn toàn tự động (TEM AutoPrep™ Pro), hiện đã bao gồm khả năng tạo hình lamella TEM đảo ngược và lamella quan sát mặt phẳng (plan-view), cùng với mô-đun cắt ngang FIB tự động mới ra mắt – AutoSection™. AutoSection™ cung cấp các tính năng nổi bật như: hiệu chuẩn giá đỡ laser-FIB tự động, đánh bóng lắc tự động (automated rocking polishing), ghi ảnh SEM tự động, và kết thúc đánh bóng tự động dựa trên chiều rộng hoặc diện tích do người dùng xác định.

Những khả năng mới này giúp tối ưu hóa các quy trình FIB tiên tiến, mở rộng khả năng tiếp cận cho người vận hành, đồng thời nâng cao hiệu quả và năng suất trong chuẩn bị mẫu FIB Gallium và Plasma.

Giới thiệu diễn giả
Lukáš Hladík là Quản lý Tiếp thị sản phẩm cho các giải pháp FIB-SEM, phân tích (characterization), và delayering/probing dành cho các phòng thí nghiệm R&D bán dẫn FA. Ông gia nhập TESCAN GROUP, a.s. vào năm 2012 với vai trò chuyên viên ứng dụng cho các nền tảng Plasma FIB-SEM. Tất cả công việc của ông trong TG đều gắn liền chặt chẽ với ngành công nghiệp bán dẫn toàn cầu. Lukáš có bằng Thạc sĩ Kỹ thuật Vật lý và Công nghệ Nano từ Đại học Kỹ thuật Brno, Brno, Cộng hòa Séc.