Phân biệt kính hiển vi điện tử SEM, FEG-SEM, FIB-SEM

Kính hiển vi điện tử SEM
Kính hiển vi điện tử FEG-SEM
Kính hiển vi điện tử FIB-SEM

Kính hiển vi điện tử SEM

SEM là từ viết tắt của Scanning Electron Microscopy, tên tiếng Việt là Kính hiển vi điện tử quét. Là một thiết bị hỗ trợ kiểm tra / phân tích không phá hủy nổi tiếng, SEM sử dụng một đầu dò là chùm điện tử (electron), quét trên bề mặt mẫu, xuống độ phân giải thang nm (nanomet): [1nm =10-9m]. SEM là thuật ngữ gọi chung cho các loại Kính hiển vi điện tử quét. Thực tế, nói tới SEM thì thường hiểu đó là "SEM thường" - gọi cho loại SEM dùng nguồn phát xạ nhiệt (dùng sợi đốt Tungsten Filament), để phân biệt với loại FEG-SEM bên dưới. Cơ bản, SEM nguồn phát xạ nhiệt đạt độ phân giải 3.0nm (test trên các hạt nano dẫn điện).

SEM FEG SEM source

Kính hiển vi điện tử FEG-SEM

FEG-SEM (hay FE-SEM) cũng là Kính hiển vi điện tử quét, FEG-SEM sử dụng nguồn phát xạ trường, tên tiếng Anh là Field Emission Scanning Electron Microscope. Năng lực phân giải của FEG-SEM tốt hơn Tungsten SEM, người ta còn gọi là Kính hiển vi điện tử quét độ phân giải cao. Bên cạnh đó, các thế hệ FEG-SEM đời mới & tiên tiến nhất, có năng lực phân giải xuống cấp độ sub-nanomet có tên viết tắt là UHR SEM - Ultra High Resolution SEM, là loại SEM có độ phân giải siêu cao (dưới 1.0nm).

Kính hiển vi điện tử FIB-SEM

FIB-SEM là tên viết tắt của Focus Ion Beam SEM, là Kính hiển vi quét chùm Ion hội tụ. Người ta lắp thêm vào SEM một nguồn Ion có chức năng ăn mòn, cắt lớp,... bề mặt mẫu (cả vật liệu và y sinh học); chùm ion cắt tới đâu chùm electron quét ảnh SEM tới đó. FIB-SEM cung cấp được cấu trúc bên dưới bề mặt vật liệu, mặt cắt ngang,... và xây dựng được hình ảnh 3D của mẫu. Như vậy, FIB-SEM hoạt động vừa có chùm điện tử, vừa có chùm Ga ion hoặc Xenon plasma.