Khái niệm Kính hiển vi điện tử quét SEM
Kính hiển vi điện tử quét SEM có tên tiếng Anh là Scanning Electron Microscopy, là một kỹ thuật kiểm tra / phân tích không phá hủy nổi tiếng, kỹ thuật SEM sử dụng một đầu dò là chùm điện tử (electron), quét trên bề mặt mẫu, xuống độ phân giải thang nm (nanomet): [1nm =10-9m].
Kính hiển vi điện tử quét SEM tạo hình ảnh có độ phóng đại lớn (hàng chục nghìn, hàng trăm nghìn lần), độ phân giải cao (nm). Khả năng này đưa Kính hiển vi điện tử quét SEM trở nên phù hợp cho nhiều lãnh vực khoa học và ứng dụng công nghiệp.
Nguyên lý hoạt động của Kính hiển vi điện tử quét SEM
Kính hiển vi điện tử quét SEM hoạt động dựa trên sự tương tác của chùm điện tử đến bề mặt của mẫu trong môi trường chân không.
- Các điện tử (electron) được phát ra từ một nguồn phát điện tử (electron source). Có 2 loại nguồn phát điện tử là: Nguồn phát xạ nhiệt (Thermionic Emission Source) và Nguồn phát xạ trường (Field Emission Source (FEG))
Nguồn phát xạ nhiệt thường dùng là Bóng đèn sợi đốt Tungsten (filament) sử dụng trên dòng SEM VEGA. Nguồn phát xạ trường phổ biến là Schottky FEG được sử dụng trên dòng FEG-SEM MIRA, dòng FEG-SEM độ phân giải siêu cao CLARA, MAGNA và các hệ tích hợp chùm ion hội tụ FIB-SEM.
- Các thấu kính điện từ, các cuộn dây từ tính, khẩu độ kích thước khác nhau, nằm trong Cột điện tử để điều khiển và tối ưu chùm điện tử hội tụ, để sử dụng vào việc quét trên bề mặt mẫu.
- Chùm điện tử hội tụ được điều khiển quét qua từng điểm trên bề mặt mẫu tại các vùng mẫu quan tâm. Mẫu được đặt trong buồng mẫu.
- Các đầu dò được gắn trên buồng mẫu hoặc trong cột điện tử sẽ nhận các tín hiệu điện tử thứ cấp, điện tử tán xạ ngược, ánh sáng, tia-X,... do tương tác của chùm điện tử đến với bề mặt mẫu.
- Các tín hiệu từ các đầu dò sẽ được phần mềm xử lý thành hình ảnh phóng đại lên màn hình điều khiển.
- Chân không được duy trì từ Nguồn phát điện tử đến Cột phát điện tử đến Buồng mẫu là đảm bảo điện tử có thể di chuyển được tới bề mặt mẫu.
Video giới thiệu về SEM, FEG-SEM
Chúng tôi có một mục Webinar, cung cấp nhiều chủ đề liên quan đến Kính hiển vi điện tử quét và một số sản phẩm mà chúng tôi đang cung cấp.
Kính mời quý anh chị và thầy cô vào Mục Menu Webinar để tham khảo và đăng ký(Click here).
Kính hiển vi điện tử quét SEM và Hãng TESCAN
TESCAN là một hãng sản xuất Kính hiển vi điện tử quét lâu đời, được thành lập năm 1991, bởi đội ngũ chuyên gia được tách ra từ Công ty TESLA Brno (thành lập và thương mại SEM TEM từ những năm 1940-1950), tại Thánh địa kính hiển vi điện tử quét, Tp Brno, Cộng hòa Séc
Chi tiết sản phẩm tại đây: Kính hiển vi điện tử quét SEM & FE-SEM TESCAN | MAGNA | CLARA | MIRA | VEGA
Tại Việt Nam, Công ty TNHH Công nghệ M là đơn vị tư vấn độc quyền, cung cấp trọn gói: tư vấn, lắp đặt, đào tạo, bảo trì, sửa chữa, cung cấp phụ tùng và vật tư các loại Kính hiển vi điện tử quét hãng TESCAN.
