Chủ đề: From Routine to Remarkable: Meet TESCAN MIRA XR
Diễn giả: Tomas Boruvka (TESCAN)
Trạng thái: Đã diễn ra (có Recorded Video)

* MIRA rất quen thuộc với khách hàng tên toàn thế giới, thể hiện sự ổn định trong hơn 20 năm nay.
* Giờ đây, khi kết hợp với Công nghệ BrightBeam, MIRA trở thành MIRA XR, một SEM siêu phân giải với cách sử dụng vô cùng dễ dàng ở "phân giải nanomet" và hỗ trợ Low kV Scanning.

1. Bối cảnh & mục tiêu của Webinar

Đại diện TESCAN (Vladimir và đội ngũ Product Marketing) nhấn mạnh sứ mệnh của hãng là cung cấp các công nghệ hiển vi điện tử quét đột phá, nhưng vẫn phải dễ dùng, phù hợp cho cả môi trường nghiên cứu và công nghiệp. MIRA XR được phát triển cho nhóm người dùng muốn hình ảnh độ phân giải cực cao, thao tác nhanh, và không muốn tốn thời gian căn chỉnh mỗi khi thay mẫu.

2. Vị trí của MIRA XR trong danh mục SEM của TESCAN

TESCAN hiện có danh mục SEM được phân tầng rõ ràng:

• TESCAN VEGA: SEM bền bỉ, phù hợp giáo dục và quan sát thường xuyên.
• TESCAN MIRA: FEG-SEM phân tích, “ngựa chiến” cho phòng lab vật liệu.
• TESCAN CLARA: SEM cao cấp cho nghiên cứu tiên tiến, cần độ tương phản sâu và độ phân giải cao.
• TESCAN MAGNA: SEM cao cấp cho nghiên cứu ở độ phân giải siêu cao, phổ biến trong Semiconductor...

MIRA XR là bước mở rộng của dòng MIRA, bổ sung Extended Resolution để người dùng có thể tiếp cận chất lượng gần CLARA nhưng với cấu hình tối ưu hơn cho vận hành hàng ngày.

3. Điểm khác biệt của TESCAN MIRA XR

MIRA XR tập trung vào việc tạo ra ảnh SEM độ phân giải rất cao ở điện áp thấp, kể cả với mẫu không phủ dẫn điện. Điều này đặc biệt quan trọng trong nghiên cứu vật liệu tiên tiến, nano, dược phẩm và ứng dụng công nghiệp cần giữ nguyên bề mặt.

• Hình ảnh độ phân giải cực cao (Extended Resolution): tối ưu cho bề mặt, cấu trúc nano, lỗ xốp.
• Dễ dùng cho phòng lab dùng chung: kết quả ổn định giữa các ca làm việc, phù hợp lab nhiều người.
• Không cần phủ kim loại: nhờ hiệu suất ở điện áp thấp, giúp giữ nguyên đặc trưng bề mặt.

4. Các tính năng công nghệ nổi bật

4.1 Wide Field Optics

• Giữ độ sắc nét trên toàn trường nhìn, kể cả khi quan sát ở độ phóng đại thấp.
• Hỗ trợ điều hướng trực quan, không phải chuyển đổi cửa sổ khi di chuyển trên mẫu.
• Độ sâu tiêu cự mở rộng giúp quan sát tốt khi mẫu nghiêng.

4.2 In-Flight Automation

• Tự động hóa các bước căn chỉnh, độ sáng, độ tương phản.
• Giảm thao tác lặp lại của kỹ sư vận hành.
• Các phòng lab báo cáo tiết kiệm tới 80% thời gian so với quy trình SEM thủ công và rút ngắn thời gian từ mẫu đến dữ liệu tới 40%.

4.3 Dual Essence EDS

• Tích hợp phân tích hóa học ngay trong cùng giao diện điều khiển SEM.
• Hai detector EDS 30 mm bố trí đối xứng giúp tăng gấp đôi thông lượng và giảm vùng khuất.
• Không cần máy tính rời cho EDS, phù hợp lab cần quy trình gọn.

4.4 MultiVac Mode

• Chế độ đa chân không, phù hợp cho mẫu tích điện, mẫu không dẫn điện hoặc mẫu nhạy cảm.
• Sử dụng hơi nước thay vì N₂, giúp tăng tín hiệu, độ tương phản và chi tiết bề mặt.
• Chuyển đổi giữa chân không cao và thấp được quản lý an toàn qua mô hình va chạm 3D.

5. Ứng dụng minh họa trong webinar

• Vật liệu nano: hình ảnh SBA-15, cấu trúc xốp hiển thị rõ mà không cần phủ dẫn điện.
• Kim loại & vật liệu đúc: quan sát fractography, vi cấu trúc, nhận diện hạt than chì trong ADI.
• Dược phẩm: tự động hóa phân tích bột API bằng VisualCoder và SEM Expert PI, không cần lập trình.

6. Hạ tầng và khả năng mở rộng

MIRA XR có buồng mẫu lớn với hơn 20 cổng, cho phép tích hợp thêm EDS, EBSD hoặc các giải pháp in-situ. Áp suất tối đa trong chế độ low vacuum/MultiVac đạt 500 Pa... Hệ thống không cần chiller nước ngoài, giúp việc lắp đặt tại phòng lab hiện hữu dễ dàng hơn.

7. Kết luận

TESCAN MIRA XR là lựa chọn phù hợp cho đơn vị cần SEM phân tích độ phân giải cao nhưng vẫn muốn vận hành đơn giản, ổn định và tối ưu chi phí đầu tư. Các phòng thí nghiệm vật liệu, phòng chất lượng của nhà máy, trung tâm nghiên cứu bán dẫn hoặc đơn vị đào tạo nâng cao đều có thể khai thác hiệu quả.

8. Podcast (tóm tắt)

9. Đăng ký xem lại đầy đủ bản Recorded Webinar