Kính hiển vi đo nhiệt phản xạ TRM250 là gì?

TRM250 là kính hiển vi đo nhiệt phản xạ sử dụng công nghệ thermoreflectance microscopy để chụp ảnh và phân tích sự biến thiên nhiệt độ trên bề mặt mẫu.

Thermoreflectance microscopy được sử dụng để làm gì?

Thermoreflectance microscopy được sử dụng để đo và lập bản đồ biến thiên nhiệt độ thông qua sự thay đổi của độ phản xạ quang học khi nhiệt độ của mẫu thay đổi.

TRM250 phù hợp với những ứng dụng nào?

TRM250 phù hợp cho các ứng dụng phân tích nhiệt trong bán dẫn, vi điện tử, linh kiện điện tử và các nghiên cứu cần khảo sát sự phân bố hoặc biến thiên nhiệt độ tại các vị trí cụ thể trên mẫu.

TRM250 có thể chụp ảnh nhiệt độ không?

Có. TRM250 được thiết kế để thực hiện temperature imaging, cho phép quan sát sự phân bố và biến thiên nhiệt độ trên khu vực được khảo sát.

Temperature imaging có thể cung cấp thông tin gì?

Temperature imaging cung cấp thông tin về sự phân bố nhiệt, các vùng phát nhiệt cục bộ và sự thay đổi nhiệt độ theo vị trí, hỗ trợ nghiên cứu đặc tính nhiệt của linh kiện và thiết bị vi điện tử.

Kính hiển vi đo nhiệt phản xạ TRM250

TRM250 là kính hiển vi chụp ảnh phân tích nhiệt dành cho nghiên cứu, tích hợp công nghệ chụp ảnh nhiệt phản xạ được phát triển bởi một viện nghiên cứu trong nước do chính phủ tài trợ. Thiết bị cung cấp độ phân giải hình ảnh nhiệt vượt trội bằng cách thu thập thông tin hình ảnh nhiệt thông qua phương pháp kính hiển vi quang học độ nhạy cao, trong đó đo sự phân bố của những thay đổi về độ phản xạ ánh sáng theo sự biến thiên nhiệt độ trên bề mặt hoặc các bề mặt bên trong cụ thể của mẫu.

Là một kỹ thuật mới có khả năng quan sát sự phân bố nhiệt của mẫu với độ phân giải không gian dưới micromet — điều mà các phương pháp chụp ảnh nhiệt thông thường không thể đạt được — TRM250 sẽ trở thành một công cụ phân tích mới cho việc phân tích nhiệt các mạch vi điện tử.

Đặc tính sản phẩm

TRM250 là kính hiển vi nhiệt phản xạ (thermoreflectance microscope), cung cấp hình ảnh nhiệt với độ phân giải ở cấp độ vi mô để phân tích cách các mạch điện phản ứng với tác động nhiệt. Các tính năng sau được tích hợp trên TRM250:

Trạm đầu dò chuyên dụng với bàn dịch chuyển đa trục
Hình ảnh thermoreflectance với nhiều bước sóng của nguồn sáng
Thiết bị gia nhiệt/làm mát tốc độ cao chuyên dụng
Chụp ảnh phân tích nhiệt ở chế độ Transient
Có thể tùy chỉnh cấu hình theo yêu cầu

Nguyên lý chụp ảnh bằng kính hiển vi nhiệt

Nguyên lý cơ bản của kính hiển vi nhiệt phản xạ (thermoreflectance microscopy) dựa trên hiện tượng vật lý trong đó độ phản xạ quang học thay đổi theo nhiệt độ của mẫu cần quan sát. Nguyên lý này cho phép đo nhiệt độ một cách gián tiếp thông qua việc đo độ phản xạ quang học bằng kính hiển vi.

Do sử dụng kính hiển vi để chụp ảnh, phương pháp này có thể cung cấp độ phân giải không gian dưới micromet cho hình ảnh nhiệt, điều rất khó đạt được bằng các thiết bị chụp ảnh nhiệt khác như camera hồng ngoại (IR camera).

Lĩnh vực ứng dụng & Hình ảnh mẫu

Khi các thiết bị vi điện tử được sử dụng trong chất bán dẫn hoặc màn hình hiển thị ngày càng trở nên nhỏ hơn và có mật độ tích hợp cao hơn, việc phân tích nhiệt bằng phương pháp chụp ảnh nhiệt dựa trên tia hồng ngoại (IR) truyền thống bị hạn chế do giới hạn về độ phân giải.

TRM250 cung cấp một giải pháp thay thế với khả năng tạo hình ảnh nhiệt có độ phân giải dưới micromet, điều mà phương pháp chụp ảnh nhiệt dựa trên IR truyền thống không thể đáp ứng.

Bàn gia nhiệt chân không nhiệt điện

Việc thu thập hình ảnh tham chiếu của mẫu cần phân tích tại các mức nhiệt độ cụ thể là cần thiết để chuyển đổi hình ảnh thermoreflectance thành thông tin nhiệt độ thực tế.

Với mục đích này, bàn gia nhiệt chân không nhiệt điện được cung cấp cùng với TRM250. Bàn sử dụng thiết bị Peltier và cấu trúc cánh tản nhiệt để kiểm soát nhiệt độ nhanh chóng và chính xác; nhiệt độ gia nhiệt/làm mát được điều khiển bằng phần mềm.

Tại trung tâm của bàn gia nhiệt có một lỗ hút chân không, giúp cố định mẫu cần phân tích bằng lực hút chân không. Cảm biến nhiệt độ được tích hợp bên trong bàn gia nhiệt để theo dõi nhiệt độ.

Chụp ảnh nhiệt ở chế độ Transient

Sự thay đổi độ phản xạ tại các thời điểm cụ thể có thể được đo một cách chính xác nhờ việc điều khiển chính xác và kịp thời nguồn sáng xung cũng như các thiết bị chụp ảnh. Phương pháp này cung cấp thông tin về sự thay đổi nhiệt độ theo thời gian.

Đáp ứng nhiệt ở chế độ Transient này là một đặc tính độc đáo chỉ có ở kính hiển vi nhiệt phản xạ (thermoreflectance microscope).

Thông số kỹ thuật

Hạng mục	Thông số	Giá trị
Model	Model	TRM250
Vật kính (có thể lựa chọn)	Độ phóng đại	5x / 10x / 20x / 50x / 100x
	Khoảng cách làm việc	34.0 / 33.5 / 20.0 / 13.0 / 6.0 mm
	Khẩu độ số (N.A.)	0.14 / 0.28 / 0.42 / 0.55 / 0.70
Phạm vi quan sát (Trường nhìn của ảnh nhiệt)	Phương ngang (H)	1330 / 655 / 332 / 133 / 66 μm
	Phương dọc (V)	1330 / 665 / 332 / 133 / 66 μm
Chụp ảnh nhiệt	Cảm biến hình ảnh	Scientific CMOS
	Số pixel hình ảnh chủ động	2048 × 2048 pixels
	Số pixel chụp ảnh nhiệt chủ động	1024 × 1024 pixels
	Độ phân giải không gian (theo phương ngang)	0.5 μm
	Độ phân giải nhiệt	1 ˚C
Chế độ chụp ảnh Thermoreflectance	Chế độ chụp ảnh	Chế độ ổn định (FFT, phương pháp 4-Bucket) / Chế độ Transient
	Độ phân giải thời gian ở chế độ Transient (FWHM)	50 nsec ~ 1 msec
Nguồn chiếu sáng	Nguồn sáng	LED xung (Pulse LEDs)
	Số lượng bước sóng	12
	Công suất đầu ra	120 ~ 2000 mW (phụ thuộc bước sóng)
	Cấu hình bước sóng	430, 455, 470, 505, 530, 565, 590, 617, 625, 660, 700, 730 nm: Cấu hình mặc định – Có thể tùy chỉnh các bước sóng khác
Bàn gia nhiệt nhiệt điện	Phạm vi gia nhiệt	RT đến 110˚C
	Tốc độ gia nhiệt/làm mát (không có mẫu)	2 phút để gia nhiệt từ RT đến 90˚C; 5 phút để làm mát từ 90˚C xuống RT
Bộ xử lý dữ liệu	Bộ xử lý dữ liệu	Máy tính chuyên dụng (Dedicated PC)
Nguồn điện	Điện áp nguồn	100 đến 240 VAC, 50/60 Hz
	Mức tiêu thụ điện	Tối đa 500 W