Kính hiển vi đo nhiệt phản xạ CTRM750

Không tiếp xúc, không phá hủy

Hệ thống thực hiện phân tích hoàn toàn không tiếp xúc và không phá hủy, đảm bảo bề mặt mẫu được giữ nguyên mà không cần bất kỳ bước chuẩn bị mẫu nào.

Dễ vận hành

Phần mềm chuyên dụng cung cấp khả năng điều khiển trực quan và tinh gọn toàn bộ các chức năng confocal thông qua giao diện dễ sử dụng.

Cấu hình linh hoạt

Được thiết kế trên nền tảng kiến trúc mở dạng mô-đun, hệ thống có thể dễ dàng tích hợp với nhiều hệ thống bổ trợ khác nhau.

Dữ liệu đáng tin cậy

Hệ thống đã được các nhà nghiên cứu sử dụng và được trích dẫn trong các công bố khoa học, chứng minh độ tin cậy của nền tảng kính hiển vi trong nghiên cứu và phân tích.

CTRM750: Mô-đun kính hiển vi đồng tiêu tích hợp với hệ quang học TRM250

Tính năng & lợi ích

• Đo 3D quang học không phá hủy, độ phân giải cao
• Chụp ảnh confocal theo thời gian thực
• Nhiều mức zoom quang học
• Bù độ nghiêng
• Chế độ phân tích dễ sử dụng
• Đo chiều cao tốc độ cao, chính xác và đáng tin cậy
• Kiểm tra các đặc điểm của mẫu thông qua nền bán trong suốt
• Trạm đầu dò chuyên dụng với bàn dịch chuyển đa trục
• Hình ảnh thermoreflectance với nhiều bước sóng nguồn sáng
• Thiết bị gia nhiệt/làm mát tốc độ cao chuyên dụng
• Chụp ảnh phân tích nhiệt độ ở chế độ transient
• Có thể tùy chỉnh cấu hình theo yêu cầu
• Không cần chuẩn bị mẫu

Hiệu năng quang học mạnh mẽ của mô-đun Confocal

Với hiệu năng mạnh mẽ và độc đáo, CTRM750 mở rộng phạm vi ứng dụng của công nghệ chụp ảnh bằng kính hiển vi quang học. Hệ thống cho phép quan sát rõ ràng các đặc điểm nằm bên dưới các lớp trong suốt hoặc bán trong suốt, đồng thời có thể theo dõi rõ nét bề mặt của các vật liệu phát sáng hoặc có nhiệt độ cao — những khả năng mà công nghệ kính hiển vi quang học thông thường không thể thực hiện.

Mô-đun confocal của CTRM750 đã được chứng minh rộng rãi là một giải pháp quang học hoàn thiện và hiệu quả trong nhiều lĩnh vực ứng dụng khác nhau.

Phân tích biên dạng trực quan

Bề mặt cắt: Đo biên dạng (50×)

Phân tích độ nhám

Bề mặt màng: Đo độ nhám (50×)

Lĩnh vực ứng dụng của mô-đun Confocal

Mô-đun confocal của CTRM750 là giải pháp tiềm năng cho việc đo chiều cao, chiều rộng, góc, diện tích và thể tích của các cấu trúc vi mô và dưới micromet, chẳng hạn như:

• Semiconductor – Bán dẫn: Kiểm tra pattern IC, chiều cao bump, chiều cao wire loop, kiểm tra khuyết tật, quy trình CMP.
• FPD product – Sản phẩm FPD: Kiểm tra màn hình cảm ứng, pattern ITO, chiều cao column spacer của LCD.
• MEMS device – Thiết bị MEMS: Đo biên dạng 3D của cấu trúc, độ nhám bề mặt, pattern MEMS.
• Glass surfaces – Bề mặt kính: Pin mặt trời màng mỏng, cấu trúc bề mặt pin mặt trời, pattern laser.
• Materials research – Nghiên cứu vật liệu: Kiểm tra bề mặt dụng cụ/gia công, phân tích độ nhám, phân tích vết nứt.

Mô-đun TRM của CTRM750

Mô-đun chụp ảnh thermoreflectance của CTRM750 được thương mại hóa để phân tích hình ảnh nhiệt, dựa trên công nghệ chụp ảnh phản xạ nhiệt (thermal reflection imaging) được phát triển bởi các viện nghiên cứu trong nước.

Hệ thống sử dụng kính hiển vi quang học có độ nhạy cao để đo sự phân bố độ phản xạ ánh sáng trên bề mặt mẫu hoặc một khu vực bề mặt cụ thể khi nhiệt độ thay đổi, từ đó thu được thông tin hình ảnh nhiệt và cung cấp độ phân giải hình ảnh nhiệt vượt trội.

Đây là một công nghệ mới cho phép quan sát sự phân bố nhiệt của mẫu với độ phân giải không gian dưới micromet, điều mà các phương pháp chụp ảnh nhiệt truyền thống không thể đạt được. Công nghệ này hứa hẹn trở thành một công cụ phân tích mới cho việc phân tích nhiệt các mạch điện tử vi mô.

Nguyên lý chụp ảnh bằng kính hiển vi nhiệt

Kính hiển vi thermoreflectance dựa trên hiện tượng vật lý trong đó độ phản xạ quang học của mẫu thay đổi theo nhiệt độ của mẫu được đo, đồng thời sử dụng công nghệ tính toán nhiệt độ bề mặt mẫu thông qua việc đo độ phản xạ quang học.

Công nghệ này cho phép thực hiện chụp ảnh nhiệt vi mô với độ phân giải cao trên các khu vực rất nhỏ, điều mà các kỹ thuật chụp ảnh nhiệt truyền thống như chụp ảnh hồng ngoại (infrared imaging) không thể thực hiện được.

Lĩnh vực ứng dụng

Cùng với sự phát triển về độ tinh vi và mức độ tích hợp cao của các linh kiện bán dẫn và linh kiện hiển thị, độ phân giải không gian của các kính hiển vi chụp ảnh nhiệt dựa trên công nghệ chụp ảnh nhiệt hồng ngoại (infrared thermal imaging) hiện nay đã đạt đến giới hạn về hiệu năng trong việc đo lường và phân tích sự phân bố nhiệt của các linh kiện vi mô.

Trong các ứng dụng yêu cầu phân tích nhiệt, CTRM750 cung cấp độ phân giải không gian cao khi chụp ảnh nhiệt, vượt qua những giới hạn mà các phương pháp truyền thống có thể đạt được. Qua đó, CTRM750 mang đến một giải pháp thay thế mới cho việc đo lường và phân tích sự phân bố nhiệt trên các cấu trúc và linh kiện vi mô.

Bàn gia nhiệt chân không nhiệt điện

Việc thu thập hình ảnh tham chiếu của mẫu ở các mức nhiệt độ cụ thể là cần thiết để diễn giải hình ảnh thermoreflectance và chuyển đổi thành thông tin nhiệt độ thực tế.

Để phục vụ mục đích này, bàn gia nhiệt chân không nhiệt điện (thermoelectric heating vacuum plate) được trang bị cùng CTRM750. Thiết bị sử dụng phần tử Peltier kết hợp với cấu trúc cánh tản nhiệt (cooling fin) để kiểm soát nhiệt độ nhanh chóng và chính xác. Nhiệt độ gia nhiệt/làm mát được điều khiển bằng phần mềm.

Tại trung tâm của bàn gia nhiệt có một lỗ hút chân không, giúp cố định mẫu cần đo bằng lực hút chân không. Cảm biến nhiệt độ được tích hợp bên trong bàn gia nhiệt để theo dõi nhiệt độ trong quá trình vận hành.

Chụp ảnh nhiệt ở chế độ Transient

Sự thay đổi độ phản xạ tại các thời điểm cụ thể có thể được đo chính xác nhờ khả năng điều khiển chính xác và đồng bộ về thời gian giữa nguồn sáng xung (pulsed light source) và các thiết bị chụp ảnh.

Phương pháp này cung cấp thông tin về sự thay đổi nhiệt độ theo thời gian. Đáp ứng nhiệt ở chế độ Transient (transient thermal response) là một đặc tính độc đáo mà kính hiển vi thermoreflectance có thể cung cấp.

Thông số kỹ thuật

• Ghi chú 1: Đo 100 lần trên mẫu chuẩn có bậc chiều cao 1 μm, sử dụng vật kính 100X / 0.7.
• Ghi chú 2: Đo 100 lần trên mẫu chuẩn có bước (pitch) 5 μm, sử dụng vật kính 100X / 0.7.

Kích thước