RISE-Raman-SEM: Sự kết hợp hoàn hảo giữa cấu trúc siêu vi và bản chất phân tử

RISE-Raman-SEM: Sự kết hợp hoàn hảo giữa cấu trúc siêu vi và bản chất phân tử

Sự tiến bộ vượt bậc của khoa học vật liệu và công nghệ nano trong thập kỷ qua đã đặt ra những thách thức chưa từng có đối với các kỹ thuật phân tích vi mô. Các nhà nghiên cứu không còn hài lòng với việc chỉ quan sát hình thái bề mặt đơn thuần; họ yêu cầu sự hiểu biết thấu đáo về mối liên hệ giữa cấu trúc nano, thành phần hóa học phân tử và các tính chất cơ lý tại cùng một vị trí trên mẫu vật. Trong bối cảnh đó, hệ thống RISE (Raman Imaging and Scanning Electron Microscopy) của TESCAN, được phát triển thông qua sự hợp tác chiến lược với WITec, đã nổi lên như một giải pháp mang tính cách mạng, thiết lập một tiêu chuẩn mới cho hiển vi tương quan.


 

RISE là gì?

RISE là một hệ thống kính hiển vi tương quan (correlative microscopy) tích hợp đầy đủ các tính năng của một máy SEM độc lập và một kính hiển vi Raman WITec360 cấp nghiên cứu của Oxford Instruments. Tên gọi RISE đại diện cho sự hội tụ giữa Raman Imaging (Hình ảnh Raman) và Scanning Electron (Điện tử quét).


 

Sự hội tụ của hai thế giới: SEM và Raman đồng tiêu

Hệ thống RISE đại diện cho sự kết hợp không thỏa hiệp giữa hai kỹ thuật phân tích mạnh mẽ nhất hiện nay: Kính hiển vi điện tử quét (SEM) và Kính hiển vi Raman đồng tiêu. Trong lịch sử, các nhà khoa học thường phải phân tích mẫu trên hai hệ thống riêng biệt, dẫn đến những khó khăn lớn trong việc tìm lại cùng một vùng quan tâm (ROI), rủi ro nhiễm bẩn mẫu khi di chuyển ngoài môi trường chân không, và sự sai lệch về tọa độ phân tích. RISE giải quyết triệt để những vấn đề này bằng cách tích hợp hoàn toàn cả hai khả năng vào một hệ thống duy nhất, vận hành trong cùng một buồng chân không.

Đặc tính

Kính hiển vi điện tử quét (SEM)

Kính hiển vi Raman đồng tiêu

Nguồn tín hiệu

Chùm electron hội tụ

Laser (Tán xạ photon)

Độ phân giải không gian

Cấp độ nanomet (sub-nanometer)

Giới hạn nhiễu xạ (200 - 300 nm)

Thông tin cung cấp

Hình thái bề mặt, địa hình, số hiệu nguyên tử (BSE), thành phần nguyên tố (EDS)

Cấu trúc phân tử, các dạng thù hình, độ kết tinh, trạng thái ứng suất, định hướng tinh thể

Độ sâu trường ảnh

Rất lớn

Hạn chế (nhưng có khả năng cắt lớp Z)

Tác động mẫu

Có thể gây tích điện hoặc hư hại nhiệt nhẹ

Không phá hủy, không cần nhuộm màu

Sự kết hợp này cho phép các nhà khoa học tận dụng độ phân giải siêu cấu trúc của SEM để xác định các đặc điểm hình thái nhỏ nhất, sau đó ngay lập tức thu thập "dấu vân tay" hóa học từ cùng một vị trí thông qua phổ Raman. Điều này cực kỳ quan trọng đối với các vật liệu như carbon nanostructure, nơi mà hình thái bề mặt nhìn thấy qua SEM có thể giống hệt nhau nhưng bản chất hóa học (như than chì so với carbon vô định hình) lại hoàn toàn khác biệt.


 

Ứng dụng thực tiễn đa dạng

Hệ thống RISE-Raman-SEM đã chứng minh hiệu quả trong nhiều lĩnh vực then chốt:

Vật liệu Nano & Graphene: Xác định số lớp, thứ tự xếp chồng và góc xoắn của các lớp graphene – những đặc tính mà SEM hay EDS thông thường không thể phân biệt được.
Địa chất học: Phân biệt các khoáng chất có thành phần nguyên tố tương tự nhưng cấu trúc phân tử khác nhau như Thạch anh (Quartz) và Plagioclase.
Khoa học sự sống: Chụp ảnh tương quan các mô não, phân biệt giữa chất trắng (white matter) và chất xám (gray matter) dựa trên phổ Raman đặc trưng.
Lưu trữ năng lượng: Phân tích sự xuống cấp cấu trúc và thay đổi thành phần hóa học của điện cực pin Li-ion sau các chu kỳ sạc nhanh.
Pháp y và Dược phẩm: Và nhiều lĩnh vực khác đòi hỏi sự hiểu biết sâu sắc về tương quan giữa hình thái và hóa học.

 

Nguyên lý hoạt động và sự tiện lợi vượt trội

Điểm độc đáo của RISE nằm ở quy trình làm việc liền mạch:
Chuyển mẫu tự động: Mẫu vật được chuyển tự động giữa vị trí đo SEM và vị trí đo Raman ngay bên trong buồng chân không của thiết bị. Điều này giúp tiết kiệm thời gian và đảm bảo độ chính xác khi tương quan dữ liệu.
Giao diện tích hợp: Toàn bộ quá trình điều khiển phép đo và chồng ghép hình ảnh được thực hiện thông qua một phần mềm tích hợp duy nhất, thân thiện với người dùng.
Không phá hủy mẫu: Phân tích Raman là một phương pháp không phá hủy, không cần nhuộm màu hay chuẩn bị mẫu đặc biệt, giúp giữ nguyên vẹn bản chất của mẫu cho các phân tích sau đó.

 

Tại sao cần kết hợp Raman với SEM và EDS?

Mặc dù SEM cung cấp hình ảnh cấu trúc siêu vi tuyệt vời và EDS (Tán sắc năng lượng tia X) giúp xác định thành phần nguyên tố, nhưng chúng vẫn có những giới hạn nhất định. Raman spectroscopy đóng vai trò là mảnh ghép còn thiếu nhờ khả năng:
1. Nhận diện "dấu vân tay" phân tử: Mỗi hợp chất hóa học tạo ra một phổ Raman duy nhất khi bị kích thích bởi laser, cho phép định danh chính xác các phân tử.
2. Phân biệt các dạng thù hình: Ví dụ, SEM/EDS khó có thể phân biệt được Anatase và Rutile (hai dạng của Titanium Dioxide), nhưng Raman có thể tách biệt chúng một cách dễ dàng qua các đỉnh phổ đặc trưng.
3. Thông tin chi tiết về trạng thái vật liệu: Phổ Raman còn cung cấp dữ liệu về độ tinh thể, ứng suất/biến dạng của vật liệu, và định hướng tinh thể.
Khi kết hợp thêm bộ dò EDS, hệ thống RISE trở thành một công cụ phân tích toàn diện, cung cấp đồng thời thông tin về nguyên tố, phân tử và cấu trúc siêu vi trên cùng một khu vực mẫu.

 

Kiến trúc hệ thống và các thành phần phần cứng tối ưu

Hệ thống RISE không đơn thuần là một phụ kiện gắn thêm vào SEM; nó là một thực thể tích hợp sâu sắc. WITec cung cấp máy quang phổ Raman UHTS (Ultra-High Throughput Spectrometer) với thiết kế dựa trên thấu kính, mang lại hiệu suất quang học vượt trội so với các thiết kế dựa trên gương truyền thống.

1. Hệ thống quang học Raman: Thấu kính chuyên dụng được lắp đặt bên trong buồng chân không SEM. Thấu kính này có thể thu lại để tránh va chạm khi bệ mẫu di chuyển hoặc khi vận hành các đầu dò SEM khác.

2. Tốc độ thu nhận phổ: Tùy chọn Ultrafast Raman Imaging cho phép ghi lại một phổ đầy đủ trong thời gian chưa đầy 1 ms (xuống tới 0,76 ms), cho phép tạo ra các bản đồ hóa học lớn với hàng chục nghìn pixel chỉ trong vài phút.

3. Hệ thống laser đa bước sóng: Người dùng có thể lựa chọn các bước sóng laser khác nhau (ví dụ: 532 nm, 633 nm, 785 nm) để tối ưu hóa tín hiệu Raman và giảm thiểu hiện tượng huỳnh quang tùy thuộc vào loại mẫu.

4. Thiết kế cột điện tử TESCAN: Sử dụng công nghệ Wide Field Optics™ và thấu kính trung gian (IML) độc quyền, giúp mở rộng trường nhìn và tối ưu hóa việc điều hướng mẫu ở độ phóng đại cực thấp, hỗ trợ tìm kiếm vùng quan tâm nhanh chóng.


 

Hệ sinh thái phần mềm: Trí tuệ đằng sau dữ liệu

Sức mạnh của RISE được hiện thực hóa thông qua sự kết hợp giữa phần mềm điều khiển kính hiển vi TESCAN Essence™ và bộ phần mềm phân tích phổ WITec Suite SEVEN.

TESCAN Essence™: Giao diện trực quan và an toàn

Phần mềm Essence™ không chỉ điều khiển các thông số chùm tia mà còn tích hợp các module bảo vệ phần cứng tiên tiến. Mô hình va chạm 3D (3D Collision Model) hoạt động trong thời gian thực, giám sát mọi chuyển động của bệ mẫu và các đầu dò bên trong buồng mẫu để ngăn ngừa mọi hư hại vật lý. Ngoài ra, tính năng In-Flight Beam Tracing™ cho phép người dùng thay đổi dòng chùm tia và kích thước điểm quét một cách liên tục mà không làm mất tiêu cự, đảm bảo hiệu quả làm việc cao nhất.

WITec Suite SEVEN và TrueOrigin

Suite SEVEN là một môi trường phân tích dữ liệu khổng lồ. Điểm nổi bật nhất đối với hiển vi tương quan là tính năng TrueOrigin. Đây là một hệ thống tọa độ di động cho phép ánh xạ mẫu dựa trên các đặc điểm nội tại của chính mẫu vật hoặc giá giữ mẫu. Nhờ đó, dữ liệu từ SEM, Raman, và thậm chí là các nguồn hình ảnh bên ngoài (như kính hiển vi quang học đứng độc lập) có thể được chồng lớp một cách chính xác tuyệt đối.

Chức năng phần mềm

Lợi ích cho người dùng RISE

TrueComponent Analysis

Tự động phân tách các thành phần hóa học khác nhau trong một hỗn hợp phức tạp dựa trên thuật toán máy học mà không cần biết trước phổ chuẩn.

TrueMatch

Truy vấn cơ sở dữ liệu phổ để định danh nhanh chóng các hợp chất chưa biết.

ParticleScout

Tự động tìm kiếm, phân loại và phân tích hóa học hàng nghìn hạt trên một diện tích lớn, cực kỳ hữu ích cho nghiên cứu bụi mịn hoặc ô nhiễm vi nhựa.

Workflow Manager

Thiết lập các chuỗi quy trình đo lường lặp lại, giúp chuẩn hóa dữ liệu và tiết kiệm thời gian cho người vận hành.


 

Kết luận

 Hệ thống RISE (thường được tích hợp trên các dòng máy SEM của Tescan với sự hợp tác từ Oxford Instruments) mang lại một chiều không gian mới cho việc phân tích mẫu. Bằng cách kết hợp hình ảnh cấu trúc siêu vi với bản chất phân tử trong một quy trình tự động hóa cao, RISE giúp các nhà nghiên cứu đạt được những hiểu biết sâu sắc hơn, nhanh chóng hơn về mẫu vật của mình.


Video / Webinar liên quan


 

Liên hệ & Hỗ trợ

Công ty TNHH Công nghệ M

MST: 0311014975

Số 8 Đường N8, Mega Ruby Khang Điền, Phường Long Trường, Thành phố Hồ Chí Minh, Việt Nam.
Chi nhánh miền Bắc: Tầng 1, Toà CT5, Chung cư Cát Tường TNT, Đường Lê Thái Tổ, Phường Võ Cường, Tỉnh Bắc Ninh, Việt Nam
Điện thoại: (028).6288.9639 - 0988.248.156 (Mr Thương)
Email: This email address is being protected from spambots. You need JavaScript enabled to view it.

Hoặc vui lòng cung cấp các yêu cầu thông qua form dưới đây: