Tiếng Việt 
日本語 (Japan) 
한국어 (Korean) 
中文 (Chinese) 
English (UK) 
Giới thiệu TESCAN VEGA COMPACT
VEGA COMPACT kế thừa nền tảng của dòng VEGA, tập trung vào quy trình phân tích hiệu quả và tối ưu chi phí. Không cần căn chỉnh cơ khí khi chuyển đổi giữa điều kiện chụp ảnh và điều kiện phân tích — chỉ với một cú nhấp chuột trong Essence™, các tham số chùm tia được điều chỉnh tự động. Wide Field Optics™ thay thế hoàn toàn camera quang học riêng biệt, mang lại ảnh tổng quan SEM trực tiếp ở độ phóng đại thấp đến 2× giúp điều hướng trực quan trên mẫu lớn.
Ứng dụng điển hình
- QA/QC & sản xuất: kiểm tra định kỳ, phân tích lỗi, giám sát quy trình.
- Kim loại & hợp kim: phân tích độ xốp, kích thước hạt, vi cấu trúc qua SE/BSE; kiểm tra EDS nhanh.
- Hạt & bột: đánh giá hình thái và kích cỡ ở điện áp thấp và cao.
- Địa chất: thạch học và lập bản đồ pha khoáng; tùy chọn CL bổ trợ.
- Phòng thí nghiệm R&D tổng hợp: SEM phân tích tiết kiệm chi phí cho nhiều loại vật liệu.
Tính năng nổi bật
Chụp ảnh & phân tích trong cùng một cửa sổ
- Essence™ EDS (tích hợp hoàn toàn): thu phổ, bản đồ và line scan trực tiếp trong cửa sổ SEM live; dữ liệu được liên kết với tọa độ bàn mẫu.
- Chuyển đổi chỉ với một cú nhấp giữa điều kiện chụp ảnh dòng thấp và điều kiện phân tích dòng cao.
Intermediate Lens™ & In-Flight Beam Tracing™
- Điều khiển khẩu độ điện từ tối ưu kích thước đốm chùm theo dòng dò, đảm bảo dòng hạ cánh mong muốn.
- Duy trì tỷ lệ SNR và độ phân giải trong điều kiện phân tích.
Điều hướng với Wide Field Optics™
- Ảnh tổng quan SEM trực tiếp ở độ phóng đại 2× với độ sâu trường vượt trội – không cần camera quang học rời.
- Điều hướng chính xác trên gá nghiêng/EBSD nhờ hiệu chỉnh scanning-tilt.
Phần mềm Essence™ & an toàn vận hành
- Giao diện trực quan, mô-đun với tìm kiếm nhanh, preset, bố cục đa người dùng, thao tác hoàn tác/làm lại.
- Mô hình va chạm 3D trong Essence™ hiển thị hình học buồng mẫu và dự đoán chuyển động để bảo vệ đầu dò BSE thu hồi và các phụ kiện khác.
Hiệu quả vận hành
- Vận hành chân không cao (~10−3 Pa) cho kết quả EDS chính xác.
- Tùy chọn vacuum buffer giúp giảm thời gian chạy bơm quay – mang lại lợi ích về kinh tế và môi trường.
Thông số kỹ thuật tiêu biểu
| Thông số | Giá trị (đại diện) |
|---|---|
| Nguồn electron | Catốt nung nóng tungsten |
| Điện áp gia tốc | 200 eV – 30 keV |
| Dòng dò (Probe current) | 1 pA – 2 µA (điều chỉnh liên tục) |
| Độ phân giải (SE/BSE) | SE: 3 nm @ 30 keV; 8 nm @ 3 keV • BSE: 3.5 nm @ 30 keV |
| Độ phóng đại | 2× – 1 000 000×; trường nhìn >14 mm @ WD = 15 mm |
| Chân không | Chân không cao (~10−3 Pa); tùy chọn vacuum buffer |
| Đầu dò | SE (E-T), 4Q BSE (thu hồi thủ công), pA meter có cảnh báo cảm ứng |
| EDS tích hợp | Detector 30 mm², 129 eV @ Mn Kα, 1 Mcps input / 300 kcps output |
*Thông số có thể thay đổi tùy theo cấu hình và tùy chọn lắp đặt.
Câu hỏi thường gặp (FAQ)
VEGA COMPACT giúp tăng tốc công việc phân tích hàng ngày như thế nào?
Bằng cách kết hợp chụp ảnh SEM và Essence™ EDS tích hợp hoàn toàn trong cùng một cửa sổ live, cho phép chuyển đổi một cú nhấp giữa chế độ chụp ảnh và phân tích.
Tôi có cần camera quang học để điều hướng không?
Không cần. Wide Field Optics™ cung cấp ảnh tổng quan SEM trực tiếp ở độ phóng đại 2×, giúp điều hướng trực quan mà không cần camera rời.
Các đầu dò được bảo vệ như thế nào khi di chuyển?
Mô hình va chạm 3D trong Essence™ dự đoán chuyển động của bàn mẫu và phụ kiện theo thời gian thực, giúp ngăn va chạm với đầu dò gắn trong buồng.
Tổng quan về TESCAN VEGA COMPACT
TESCAN VEGA COMPACT mang lại sự cân bằng giữa hiệu năng, đơn giản và hiệu quả chi phí. Hệ quang học không khẩu độ, Intermediate Lens™ kết hợp In-Flight Beam Tracing™, Wide Field Optics™ và tích hợp Essence™ EDS tạo nên lộ trình phân tích hình thái và thành phần nhanh chóng, đáng tin cậy cho phòng thí nghiệm công nghiệp và nghiên cứu.
Video/Webinar liên quan
- Webinar: -
- Video: -
Liên hệ & Hỗ trợ
