Vietnamese 
English (UK) TESCAN Rocking Stage hỗ trợ hiệu quả việc thu được các mặt cắt nhẵn bằng cách milling với cường độ dòng cao trên thiết bị TESCAN Plasma FIB-SEM
Công nghệ TESCAN Rocking Stage là phương pháp hiệu quả nhất để thu được mặt cắt ngang bằng chùm ion hội tụ FIB mà không để lại các vết gợn trên mặt cắt, đánh bóng mặt cắt để cải thiện chất lượng mẫu, phục vụ cho phân tích lỗi bán dẫn hoặc mô tả đặc tính vật liệu tiên tiến. Bằng cách nghiêng mặt phẳng của mặt cắt ngang, TESCAN Rocking Stage sẽ điều chỉnh vị trí của mẫu để loại bỏ vật liệu hình thành khi milling.
TESCAN Rocking Stage hoàn toàn tương thích với phần cứng và phần mềm TESCAN, tạo ra một giải pháp tích hợp giúp quy trình làm việc hiệu quả hơn cũng như cải thiện tốc độ và độ chính xác của quá trình milling. Một trong số các tính năng của TESCAN Rocking Stage là độ nghiêng trục Y vuông góc với độ nghiêng trục X của sàn mẫu chính và có thể quan sát bằng SEM trong lúc milling để có điểm cuối chính xác tại vùng quan tâm. Trình hướng dẫn thiết lập TESCAN Rocking Stage cho phép người dùng thiết lập quy trình milling và lắc tự động, bao gồm việc xác định và lưu trữ hai hoặc nhiều vị trí rung chuyển. Thiết kế TESCAN Rocking Stage cũng duy trì tính linh hoạt của hệ thống Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ FIB-SEM, bao gồm khả năng tương thích hoàn toàn với Load Lock, chế độ giảm tốc chùm tia (BDM) và đầu dò R-STEM.
Đặc điểm nổi bật
- Giảm thiểu các vết sinh ra trên bề mặt mặt cắt do chùm Plasma FIB gây ra đối với hỗn hợp vật liệu cứng và mềm, địa hình bề mặt hoặc cấu trúc bên trong mẫu
- Giảm thiểu hiện tượng mặt cắt bị che phủ trong quá trình thu nhận ảnh chụp cắt lớp FIB-SEM
- Đạt được điểm cuối chính xác tại vùng quan tâm bằng cách sử dụng SEM để theo dõi trực tiếp quá trình nghiêng sàn mẫu và milling
- Tối đa hóa năng suất chuẩn bị mẫu bằng trình hướng dẫn thiết lập TESCAN Rocking Stage để tự động hóa các quy trình và vị trí rung
Hình ảnh ứng dụng của TESCAN Rocking Stage
