FIB-SEM - Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ

Hình ảnh chuyển giao công nghệ

Giới thiệu TESCAN

"Có nhiều nhà cung cấp SEM tại Việt Nam,

nhưng quá ít đơn vị có thể bảo trì và sửa chữa SEM"

Giới thiệu

Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ (Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy) (FIB-SEM) kết hợp 2 chùm tia (chùm điện tửchùm ion) trong một hệ thống. Cột SEM cung cấp chức năng quét hình ảnh có độ phân giải cao, còn cột FIB có chức năng tác động dạng bắn phá bề mặt mẫu sâu vào lớp bên trong phục vụ việc nghiên cứu. Hệ thống 2 chùm tia FIB-SEM đã mở ra cho thế giới các khả năng mới, để thực hiện các ứng dụng mà trước đây không thể thực hiện trên hệ thống SEM đơn lẻ.

Thiết lập trong hệ thống FIB-SEM là đưa tiêu điểm của chùm ionchùm điện tử trùng nhau, giúp thu kết quả tối ưu trong nhiều ứng dụng. Bằng cách này, việc quét ảnh bởi SEM là đồng thời với việc bắn phá bề mặt bởi FIB, -một bước nhảy vọt đáng kể về năng lực và hiệu suất cao cho các thao tác FIB luôn đòi hỏi độ chính xác rất cao.

TESCAN cung cấp 2 loại nguồn ion plasma khác nhau cho hệ FIB: ion plasma Gallium ion plasma Xenon. Nguồn ion plasma Ga FIB dành cho tất cả các ứng dụng cần độ chính xác cao trong các thao tác nano và chế tác nano. Trong khi đó, nguồn plasma ion Xe FIB cho dòng ion cao hơn, giúp bắn phá lượng vật liệu lớn trong thời gian ngắn hơn 50 lần so với nguồn ion plasma Ga FIB. Về độ chính xác, ion plasma Xe FIB có độ phân giải cao, có thể đạt được <15nm, phục vụ các thao tác nhạy, các ứng dụng yêu cầu kết hợp sức mạnh và độ chính xác.

Một loạt các hệ thống FIB-SEM của TESCAN được cung cấp để đáp ứng nhu cầu đa dạng của khách hàng: từ các ứng dụng công nghiệp cơ bản, đến các ứng dụng tiên tiến và ứng dụng đầy thử thách, đòi hỏi tiêu chuẩn cao nhất về việc quét hình ảnh và các chế tác micro/nanomet trong các qui trình công việc phức tạp.

Các dòng sản phẩm

TESCAN S9000G

TESCAN S9000G

TESCAN S9000X

TESCAN S9000X

TESCAN S8000G

TESCAN S8000G

TESCAN S8000X

TESCAN S8000X

TESCAN LYRA3

TESCAN LYRA3

TESCAN FERA3

TESCAN FERA3

Yêu cầu báo giá

hotline