Kính hiển vi điện tử quét TESCAN VEGA Compact là loại SEM cơ bản, phục vụ nghiên cứu các đặc tính vật liệu và kiểm soát chất lượng ở thang micromet.

SEM cơ bản không có nghĩa là thiếu chức năng. TESCAN VEGA Compact cung cấp giải pháp "SEM phân tích" hoàn chỉnh cho phòng thí nghiệm, đáp ứng được yêu cầu "dễ sử dụng", chụp ảnh SEM chất lượng cao nhanh chóng, và kèm cả chức năng phân tích thành phần nguyên tố trên bề mặt bằng đầu dò EDS (đầu dò phổ tán xạ năng lượng tia X).

TESCAN VEGA Compact có cấu hình đơn giản, bao gồm các bộ phận quan trọng để thu được hình ảnh chất lượng và dữ liệu thành phần nguyên tố, nên cần một không gian nhỏ để lắp đặt trong phòng thí nghiệm. Với khả năng chứa được mẫu có kích thước lớn, cỡ phổ biến trong công nghiệp, khoa học vật liệu, điện tử bán dẫn - như nghiên cứu mặt cắt ngang (cross-sections) của mẫu kim loại, vi cấu trúc của mối hàn kim loại hoặc mạch PCB. TESCAN VEGA Compact là sự lựa chọn tuyệt vời, không chỉ phục vụ nhu cầu kiểm tra vật liệu, kiểm tra chất lượng, phân tích lỗi,... hiện tại, mà còn đáp ứng nhiều nhu cầu phân tích khác trong tương lai của bạn.

TESCAN VEGA Compact hoạt động thông qua một phần mềm được thiết kế dạng giao diện đồ họa, thân thiện, linh hoạt tùy chỉnh cá nhân - TESCAN Essence™, là trái tim của tất cả các máy SEM và FIB-SEM của TESCAN. Người vận hành được học TESCAN VEGA Compact sẽ dễ dàng tham gia vận hành các Kính hiển vi TESCAN khác.

Lợi ích

• Chụp ảnh SEM và phân tích mẫu nhanh hơn với kích cỡ buồng lớn, có nhiều không gian trong buồng để xử lý đồng thời nhiều mẫu hoặc mẫu cỡ lớn; cũng như chân không cao thực sự cho phép phân tích EDS đáng tin cậy hơn.
• Dễ dàng thu thập dữ liệu về thành phần (pha, vật liệu...) và đồng bộ với ảnh SEM bằng cách sử dụng chức năng lựa chọn thêm (overlay feature) của Essence™, cũng như tích hợp điều khiển đầu dò Essence EDS.
• Thiết lập nhanh chóng các thông số của chùm điện tử, để tối ưu cho phép chụp hình ảnh và phân tích với TESCAN´s In-Flight Beam Tracing™.
• Điều hướng di chuyển mẫu dễ dàng và chính xác với độ phóng đại tối thiểu từ 2x thông qua chế độ Wide Field độc đáo của TESCAN - loại bỏ vai trò của một camera quang học tích hợp trong SEM.

• Di chuyển mẫu một cách tự tin và tránh được các va chạm nhờ Mô hình cảnh báo va chạm 3D độc đáo của TESCAN. Mô hình hóa buồng mẫu, sự di chuyển các đầu dò, sàn mẫu và mẫu trong buồng mẫu...
• Tùy chỉnh giao diện người dùng trên phần mềm Essence™  một cách linh hoạt tùy theo kinh nghiệm, theo cấp độ riêng của từng người dùng.
• Tiết kiệm không gian lắp đặt. Tiết kiệm chi phí vận hành với bộ đệm chân không, giúp giảm đáng kể thời gian chạy của bơm chân không (lựa chọn thêm).

• VEGA Compact hiệu quả hơn vì đáp ứng nghiên cứu cỡ mẫu lớn hơn, hình dạng phức tạp có thể xoay/nghiêng dễ dàng. Buồng mẫu lớn hơn, có thể đặt được nhiều mẫu cùng lúc, nhiều mẫu chụp mặt cắt, nhiều mẫu phức tạp như mối hàn,... được phân tích cùng lúc mà không cần điều chỉnh mẫu/thay mẫu quá nhiều lần.

• VEGA Compact cung cấp độ phân giải chi tiết xuống vài nanomet, chất lượng hình ảnh cao, với độ phóng đại có thể gấp nhiều lần nhu cầu hiện tại - đây lại là "nhu cầu trong tương lai gần" - khi mà bạn cần độ phóng đại cao thì một mini SEM không thể làm được.

• Để xem chi tiết hơn về mẫu, bạn cần một chùm điện tử năng lượng thấp; để phân tích EDS cho các nguyên tố nặng một cách chính xác, bạn cần thế gia tốc cỡ 30kV. VEGA Compact đáp ứng một dải rộng thế gia tốc, nghĩa là năng lực VEGA Compact có thể gấp đôi, gấp rưỡi so với các mini SEM.

• Để thu thập kết quả trung thực hơn về mẫu, bạn sẽ phải cần kết hợp cả tín hiệu từ đầu dò SE (bề mặt) và tín hiệu từ đầu dò BSE (thành phần khác nhau) tại một vùng mẫu quan sát. VEGA Compact luôn tích hợp sẵn có đồng thời 2 đầu dò này.