Kính hiển vi đồng tiêu quét laser 3D NS-3500: Giải pháp đo lường nano chính xác

Đặc Điểm Nổi Bật Của NS-3500

Khác với các phương pháp đo lường truyền thống, NS-3500 mang lại sự linh hoạt và độ tin cậy vượt trội nhờ các tính năng:

• Công nghệ Confocal (Đồng tiêu): Loại bỏ nhiễu ngoài tiêu cự, cho phép thu được hình ảnh 3D cực kỳ sắc nét.
• Đo lường không phá hủy: Sử dụng tia laser an toàn, không làm biến dạng hoặc hỏng bề mặt mẫu.
• Tốc độ cao & Chính xác: Thời gian quét nhanh với độ lặp lại ở mức nanomet.
• Image Stitching: Tự động ghép các vùng đo nhỏ thành một bản đồ bề mặt diện tích lớn mà vẫn giữ nguyên độ phân giải cao.
• Khả năng đo đa dạng: Đo được cả vật liệu phản xạ kém, vật liệu trong suốt và bán trong suốt.

Thông Số Kỹ Thuật Chi Tiết (Specifications)

Dưới đây là bảng thông số kỹ thuật cốt lõi của dòng máy NS-3500:

Ứng Dụng Thực Tế

NS-3500 được ứng dụng rộng rãi trong các phòng R&D và dây chuyền kiểm soát chất lượng (QC):

• Công nghiệp Bán dẫn: Đo độ cao bump, kiểm tra pattern trên Wafer, phân tích quy trình CMP.
• Lĩnh vực MEMS: Đo cấu trúc vi cơ điện tử, kiểm tra độ nhám và biến dạng bề mặt.
• Sản xuất Màn hình: Phân tích cấu trúc pixel, độ dày màng mỏng, kiểm tra lỗi tấm nền.
• Vật liệu tiên tiến: Nghiên cứu độ mài mòn, vết nứt micro và đặc tính bề mặt vật liệu mới.

Giải Pháp Phần Mềm Đồng Bộ

Hệ thống hoạt động dựa trên hệ sinh thái phần mềm trực quan:

NSWorks giúp việc thiết lập phép đo trở nên dễ dàng chỉ với vài cú click. Trong khi đó, NSViewer cung cấp các công cụ phân tích mạnh mẽ như đo biên dạng (profile), độ nhám bề mặt theo tiêu chuẩn ISO, đo thể tích và diện tích bề mặt 3D.