Tiếng Việt 
日本語 (Japan) 
한국어 (Korean) 
中文 (Chinese) 
English (UK) 
Tại sao TurboQ E là lựa chọn hàng đầu cho phòng thí nghiệm?
Khác với các dòng máy phủ thông thường sử dụng bơm vòng dầu, TurboQ E tích hợp hệ thống bơm phân tử (Turbomolecular pump), mang lại những ưu điểm vượt trội:
-
Chân không siêu sạch: Loại bỏ hoàn toàn nguy cơ nhiễm bẩn hydrocarbon, yếu tố sống còn khi phân tích EDS/EDX hoặc quan sát ở độ phóng đại trên 200,000x.
-
Độ phân giải tối ưu: Tạo ra các lớp màng Carbon vô định hình với kích thước hạt siêu nhỏ, giúp bảo toàn cấu trúc nguyên bản của mẫu nano.
-
Vận hành thông minh: Quy trình tự động hóa hoàn toàn giúp giảm thiểu sai số do người vận hành, đảm bảo tính lặp lại của thí nghiệm.
Đặc điểm kỹ thuật nổi bật
-
Hệ thống chân không cao (High Vacuum): Đạt áp suất 1 x 10-6 mbar nhanh chóng, lý tưởng cho các mẫu nhạy cảm với oxy hóa.
-
Bộ giám sát độ dày màng (FTM): Được trang bị sẵn như một tiêu chuẩn, cho phép kiểm soát chính xác độ dày lớp phủ đến từng nanomet (nm).
-
Sàn mẫu xoay và nghiêng (Tilt Stage): Thiết kế đế mẫu linh hoạt giúp phủ đều lên các cấu trúc 3D phức tạp, đảm bảo độ bao phủ đồng nhất.
-
Giao diện Touchscreen: Màn hình cảm ứng màu trực quan với các quy trình (recipes) được thiết lập sẵn hoặc tùy chỉnh theo yêu cầu riêng.
-
Thiết kế Modular: Dễ dàng nâng cấp hoặc thay đổi các đầu phủ (Deposition Head) để chuyển đổi mục đích sử dụng.
Ứng dụng tiêu biểu
-
Phân tích EDS/EDX: Phủ Carbon là lựa chọn tối ưu vì tính hấp thụ tia X thấp, không gây nhiễu cho kết quả phân tích định lượng nguyên tố.
-
Chuẩn bị lưới TEM: Tạo màng hỗ trợ Carbon (Carbon support films) bền vững cho các lưới mẫu TEM.
-
Quan sát FE-SEM: Ngăn chặn hiện tượng tích điện trên các mẫu không dẫn điện (sinh học, polymer, gốm sứ) ở độ phân giải siêu cao.
-
Ứng dụng FIB: Tạo lớp bảo vệ Carbon trước khi tiến hành cắt lát bằng chùm ion tập trung.
Thông số kỹ thuật chi tiết
| Thông số | Chi tiết |
|---|---|
| Loại bơm | Bơm phân tử (Turbo) + Bơm sơ cấp (Rotary/Scroll) |
| Áp suất đạt được | 1 × 10−6 mbar |
| Nguồn Carbon | Thanh Carbon (Rod) 3.2mm hoặc Sợi Carbon (Fibre - tùy chọn) |
| Dòng điện bay hơi | 5 - 75 A (Điều chỉnh kỹ thuật số) |
| Kích thước buồng mẫu | Đường kính 150mm x Cao 220mm (Thủy tinh Borosilicate) |
| Kích thước thiết bị | 440 (R) x 556 (C) x 551 (S) mm |
| Trọng lượng | Khoảng 36 kg |
Câu hỏi thường gặp (FAQ)
TurboQ E có thể phủ được kim loại (vàng, bạch kim) không?
TurboQ E được cấu hình mặc định cho phủ Carbon. Tuy nhiên, nhờ thiết kế modular, bạn có thể bổ sung thêm đầu phủ Sputter (Sputter Head) để chuyển đổi thành hệ thống đa năng tương tự như dòng TurboQ ES.
Tại sao cần sử dụng chân không cao (Turbo) thay vì chân không thấp cho phủ Carbon?
Chân không cao giúp giảm quãng đường tự do trung bình của phân tử, giảm va chạm giữa các nguyên tử Carbon và phân tử khí dư. Kết quả là lớp phủ có mật độ cao hơn, tinh khiết hơn và bám dính tốt hơn, không chứa dầu máy bơm.
Thiết bị có yêu cầu khí bảo vệ không?
Quá trình phủ Carbon diễn ra trong môi trường chân không cao nên không cần khí Argon như máy phủ Sputter. Tuy nhiên, cần sử dụng khí Nitrogen khô để xả chân không (venting) nhằm giữ buồng mẫu sạch.
Lớp phủ Carbon có ảnh hưởng đến việc quan sát hình ảnh SEM không?
Không. Carbon là vật liệu có kích thước hạt cực mịn (gần như vô định hình), giúp quan sát bề mặt mẫu ở độ phóng đại cực lớn mà không thấy "hạt" của lớp phủ như các kim loại nặng.
Liên hệ & Hỗ trợ
