Quorum Q300T ES: Hệ thống phủ mẫu chân không cao cho mẫu kích thước lớn

Giải pháp tối ưu cho mẫu lớn và FE-SEM

Với sự kết hợp giữa bơm phân tử Turbomolecular và buồng mẫu dung tích lớn, Q300T ES đáp ứng những tiêu chuẩn khắt khe nhất trong cả nghiên cứu và sản xuất công nghiệp:

• Khả năng phủ mẫu diện tích lớn: Thiết kế buồng chuyên dụng cho phép phủ đều các tấm Wafer 6 inch hoặc 8 inch, đảm bảo độ dày lớp phủ chính xác trên toàn bộ bề mặt.

• Chân không cao siêu sạch: Hệ thống bơm Turbo tích hợp tạo ra môi trường chân không sâu (High Vacuum), loại bỏ các tác nhân gây nhiễm bẩn, cực kỳ quan trọng cho các dòng kính FE-SEM độ phân giải cao.

• Đa năng và linh hoạt: Hỗ trợ cả đầu phun kim loại (Sputtering) và đầu đốt carbon (Carbon fiber evaporation) dễ dàng thay đổi tùy theo mục đích sử dụng.

• Kiểm soát độ dày màng chính xác: Tùy chọn bộ đo độ dày màng tinh thể thạch anh (Film Thickness Monitor - FTM) cho phép kiểm soát lớp phủ đến đơn vị nanomet.

Tính năng kỹ thuật nổi bật

• Buồng mẫu 300mm: Không gian làm việc rộng rãi, phù hợp cho các cụm mẫu lớn hoặc các linh kiện công nghiệp.

• Lớp phủ đồng nhất: Cơ chế xoay mẫu (Rotating Stage) đảm bảo lớp kim loại hoặc carbon được phủ đều mọi góc cạnh.

• Hỗ trợ nhiều loại vật liệu: Phủ tốt các kim loại khó như Chromium (Cr), Iridium (Ir), Platinum (Pt) bên cạnh các kim loại truyền thống như Vàng (Au).

• Giao diện người dùng hiện đại: Màn hình cảm ứng lớn, lưu trữ nhiều quy trình (recipes) giúp chuẩn hóa quy trình làm việc trong phòng thí nghiệm.

Thông số kỹ thuật chi tiết (Technical Specifications)

Ứng dụng tiêu biểu

• Sản xuất Bán dẫn: Phủ lớp dẫn điện lên Wafer để kiểm tra lỗi trên SEM.

• Nghiên cứu Vật liệu: Chuẩn bị mẫu cho các phân tích bề mặt chuyên sâu đòi hỏi độ tinh khiết cao.

• Sản xuất Linh kiện: Phủ màng mỏng cho các linh kiện quang học và điện tử.

Liên hệ & Hỗ trợ