Quorum TurboQ ES: Hệ thống phủ mẫu chân không cao (Turbo) cho SEM độ phân giải cao

Tại sao TurboQ ES là lựa chọn hàng đầu cho phòng thí nghiệm hiện đại?
Đặc tính kỹ thuật nổi bật
Thông số kỹ thuật chi tiết (Technical Specifications)
Ứng dụng tiêu biểu
Liên hệ & Hỗ trợ

Tại sao TurboQ ES là lựa chọn hàng đầu cho phòng thí nghiệm hiện đại?

Khác với các dòng máy sử dụng bơm vòng dầu thông thường, TurboQ ES nâng cấp khả năng xử lý mẫu lên một tầm cao mới nhờ hệ thống chân không cao (High Vacuum):

Chân không siêu sạch: Bơm Turbo tích hợp giúp loại bỏ hoàn toàn nguy cơ nhiễm bẩn dầu, đảm bảo chất lượng lớp phủ tinh khiết nhất.
Đa nhiệm mạnh mẽ: Khả năng chuyển đổi linh hoạt giữa phủ kim loại (Sputtering) và phủ Carbon (Carbon fiber) chỉ trong vài phút.
Tối ưu cho FE-SEM: Tạo ra các lớp phủ cực mỏng, mịn, không hạt, giúp quan sát rõ nét ở độ phóng đại siêu cao.
Vận hành thông minh: Quy trình hút chân không và phủ mẫu hoàn toàn tự động thông qua màn hình cảm ứng điện trợ.

Đặc tính kỹ thuật nổi bật

Hệ thống bơm phân tử (70 L/s): Đạt độ chân không cực sâu nhanh chóng, giúp bảo vệ bia (target) và mẫu vật khỏi oxy hóa.
Đầu phủ Magnetron: Sử dụng hiệu quả các bia kim loại quý (Oxidising & Non-oxidising metals) như Cr (Chromium), Ir (Iridium), Pt (Platinum).
An toàn & Tin cậy: Thiết kế buồng kính borosilicate với tấm bảo vệ chống nổ và hệ thống khóa liên động an toàn điện áp cao.

Thông số kỹ thuật chi tiết (Technical Specifications)

Đặc tính kỹ thuật	Chi tiết sản phẩm TurboQ ES
Hệ thống chân không	Bơm phân tử (Turbomolecular pump) 70 L/s nội bộ
Chế độ hoạt động	Sputter Coating & Carbon Fiber Evaporation
Độ chân không tối đa	Dải 10⁻⁵ mbar (Siêu sạch)
Bia (Target) hỗ trợ	Au, Pt, Cr, Ir, W, Pd, Ag (Ø 57mm)
Bơm hỗ trợ (Backing pump)	Yêu cầu bơm vòng dầu 5m³/hr (như Pfeiffer Duo 6)
Điều khiển	Màn hình cảm ứng màu, lập trình sẵn quy trình
Kích thước (WxDxH)	450 x 500 x 435 mm
Trọng lượng	26 kg (Không bao gồm bơm ngoài)