Giới thiệu tổng quan về SemiPOL
Máy mài đánh bóng SemiPOL được phát triển để thực hiện các nhiệm vụ mài phẳng, đánh bóng định lượng và mài mỏng mẫu liên tục. Với hệ thống phụ kiện đa dạng, máy có khả năng xử lý các mẫu có hình dạng phức tạp, phục vụ tối ưu cho quá trình phân tích hiển vi chuyên sâu như SEM, FIB, và TEM.
Đặc điểm kỹ thuật nổi bật
Điều khiển thông minh: Trang bị màn hình cảm ứng LCD 7 inch, hiển thị lượng vật liệu mài mòn (removal) theo thời gian thực.
Bộ nhớ quy trình: Khả năng lưu trữ và chỉnh sửa lên đến 16 bộ tham số quy trình khác nhau.
Độ chính xác tuyệt đối: Độ phẳng đĩa mài < 2µm và độ phân giải đạt 1µm.
Động cơ mạnh mẽ: Sử dụng động cơ Servo 750W cho mô-men xoắn ổn định và bền bỉ.
Hệ thống làm mát: Tích hợp quạt cảm biến nhiệt tự động giúp tăng tuổi thọ linh kiện.
Thông số kỹ thuật
| Thông số | Chi tiết kỹ thuật | |
| Đĩa làm việc | Đường kính | 8-10 inch (203/254mm) |
| Tốc độ | 0-350 vòng/phút, tốc độ linh hoạt liên tục | |
| Công suất | 700W | |
| Độ phẳng | < 2µm | |
| Đầu giá mẫu | Tốc độ | 0-50 vòng/phút, tốc độ linh hoạt động liên tục |
| Chiều quay | CW/CCW | |
| Bàn xoay | Với biên độ điều chỉnh được | |
| Dao động | Biên độ, và tốc độ đều có thể điều chỉnh được | |
| Kiểm tra | Độ vuông góc và độ song song với đĩa <2µm | |
| chiều cao dịch chuyển | 10mm | |
| Nguồn điện | Nguồn | 220V |
| Màn hình hiển thị | 7 inch | |
| Kích thước và trọng lượng | Trọng lượng máy | 57 kg |
| Kích thước (WxDxH) | 700x430x580mm | |
Hệ thống đồ gá và phụ kiện chuyên dụng
SemiPOL hỗ trợ đa dạng các loại đồ gá (fixtures) giúp tối ưu hóa việc giữ mẫu:
Flat Pasting Fixture: Đồ gá dán phẳng tiêu chuẩn.
Tear-drop Fixture: Đồ gá hình giọt nước cho mẫu đặc biệt.
Multifunctional Fixture: Đồ gá đa năng tùy chỉnh.
Digital Height Gauge: Thước đo chiều cao kỹ thuật số kiểm soát độ dày.
Ứng dụng trong công nghiệp và nghiên cứu
Thiết bị được ứng dụng rộng rãi trong nhiều lĩnh vực công nghệ cao:
Công nghệ bán dẫn: Mài mỏng wafer và chuẩn bị mẫu IC.
Quang học: Đánh bóng sợi quang và thấu kính chính xác.
Địa chất: Chế tạo lát cắt mỏng thạch học (Petrographic).
Luyện kim: Chuẩn bị bề mặt mẫu kim loại cho phân tích cấu trúc vi mô.
Phụ kiện SemiPOL
1. Bánh xe làm việc
Thông tin đặt hàng: 25.03.072 8”(200mm)
25.03.082 10”(250mm)
2. Giá đỡ dán phẳng
Thông tin đặt hàng: 25.03.600 46-1000
3. Đèn hình giọt nước
Thông tin đặt hàng: 25.03.610 46-1001
4. Thiết bị đa chức năng
Thông tin đặt hàng: 25.03.620 46-1002
5. Phụ kiện dán cạnh
Thông tin đặt hàng: 25.03.630 46-1003
25.03.635 46-1005
6. Bộ gá kẹp bên hông
Thông tin đặt hàng: 25.03.640 46-1004
7. Đầu hút phẳng
Thông tin đặt hàng: 25.03.605 46-1006
8. Thước đo chiều cao kỹ thuật số
Thông tin đặt hàng: 25.03.650 46-2000
Liên hệ & Hỗ trợ

Tiếng Việt
日本語 (Japan)
한국어 (Korean)
中文 (Chinese)
English (UK)