Camera tương quan và điều hướng quang học TESCAN ONCam là cải tiến mới nhất của TESCAN giúp tăng cường điều hướng mẫu và cung cấp hình ảnh micro tương ứng.
Camera tương quan và điều hướng quang học TESCAN ONCam cung cấp tính năng điều hướng mẫu với hình ảnh trực quan trên phần mềm TESCAN Essence™. TESCAN ONCam là camera Basler 14 MP được gắn trực tiếp vào buồng để cung cấp hình ảnh chân thực về các mẫu trên sàn mẫu bất kỳ lúc nào. TESCAN ONCam được trang bị bốn đoạn LED độc lập sử dụng thuật toán xếp chồng cường độ tối thiểu tiên tiến để loại bỏ phản xạ trong hình ảnh điều hướng quang học. Tích hợp đầy đủ TESCAN ONCam trong giao diện TESCAN Essence™ cho phép người dùng thực hiện điều hướng theo cách “nhấp và di chuyển” nhanh chóng đến vùng quan tâm bằng hình ảnh ONCam.
Đặc điểm nổi bật
- Thu được ảnh điều hướng chất lượng cao và không bị phản xạ bằng thuật toán xếp chồng cường độ tối thiểu của TESCAN ONCam điều khiển vòng LED 4 góc phần tư độc lập được tích hợp với camera Basler 14 Mpix
- Điều hướng đến các điểm quan tâm theo màu sắc, hình thức hoặc dấu hiệu thực sự của chúng mà không thể nhìn thấy chỉ bằng ảnh SEM
- Tạo một ảnh macro toàn diện của mẫu bằng cách tương quan và kết hợp hình ảnh thực tế ONCam với hình ảnh điện tử thứ cấp SE hoặc điện tử tán xạ ngược BSE trường rộng TESCAN Wide Field
- Thu thập hình ảnh để báo cáo và làm tài liệu để tham khảo trong tương lai bằng cách tương quan trực tiếp các hình ảnh SEM chi tiết với hình ảnh dựa trên ảnh của TESCAN ONCam và lưu các hình ảnh đó lại với nhau
- Khắc phục việc trường quan sát bị giảm khi lắp khẩu độ giới hạn áp suất vào vật kính để vận hành chế độ chân không thấp: sử dụng tính năng chụp ảnh màu từ ONCam để mở rộng trường nhìn lên tới 165 x 125 mm
- Tăng tốc độ thu thập hình ảnh bằng cách chọn các điểm mục tiêu trực tiếp trên hình ảnh điều hướng ONCam và xuất tọa độ sang module Essence™ Image Snapper ( module tùy chọn), sau đó tự động thu thập hình ảnh tại các vị trí và thiết lập mong muốn