TESCAN MAGNA – Kính hiển vi điện tử quét UHR SEM với quang học nhúng TriLens

Giới thiệu TESCAN MAGNA

MAGNA định nghĩa lại chuẩn UHR với thiết kế quang điện tử TriLens™, kết hợp khoảng làm việc siêu ngắn và hiệu suất thu tín hiệu vượt trội. Hệ thống cho phép chuyển đổi liền mạch giữa chế độ UHR và chế độ phân tích, bảo đảm vừa đạt độ phân giải cao nhất vừa có dòng chùm tia lớn cho phổ học và vi-phân tích 3D.

Ứng dụng điển hình

• Đặc trưng vật liệu nano và vật liệu 2D
• Phân tích lỗi bán dẫn và phát triển quy trình
• Quan sát hình thái bề mặt và mặt cắt ở độ phân giải cao
• Hiển vi tương quan và thí nghiệm in-situ ở điện áp thấp

Tính năng nổi bật

Hệ quang nhúng TriLens™ với cột Triglav™

• Đạt < 0.8 nm @ 15 kV và 1.4 nm @ 1 kV.
• Thấu kính nhúng tăng tỷ lệ tín hiệu/nhiễu cho chi tiết bề mặt và dưới bề mặt.
• Hỗ trợ STEM-in-SEM ở điện áp tới 30 keV.

In-Flight Beam Tracing™ & Tự động hoá nâng cao

• Mô phỏng chùm tia động để hiệu chỉnh nét và stigmator theo thời gian thực.
• Tự động Focus, Contrast/Brightness, Stigmators (In-Flight™).
• Độ ổn định dài hạn cho vận hành không người trực.

Vận hành MultiVac™ (chân không biến thiên)

• Chuyển đổi mượt giữa chân không cao và thấp (7–500 Pa).
• Phù hợp mẫu cách điện hoặc nhạy môi trường.
• Tích hợp điều khiển áp suất & chùm tia để trung hoà tích điện.

Nền tảng phần mềm TESCAN Essence™

• Giao diện hợp nhất cho SEM và phân tích EDS/EBSD/WDS.
• Bố cục tuỳ biến, đa người dùng, Undo/Redo, hiển thị đa cửa sổ theo thời gian thực.
• Động cơ SharkSEM cho thu nhận nhanh và hỗ trợ điều khiển từ xa.

Thông số kỹ thuật tiêu biểu

*Thông số có thể thay đổi tùy cấu hình phần mềm và tùy chọn lắp đặt.

Câu hỏi thường gặp (FAQ)

Hệ quang nhúng TriLens™ là gì?
Thiết kế thấu kính nhúng gồm ba phần tử, mang lại hiệu năng UHR và điều khiển chùm tia linh hoạt cho các ứng dụng phân tích.

MAGNA có phù hợp mẫu cách điện không?
Có — chế độ MultiVac™ (7–500 Pa) hỗ trợ vận hành chân không biến thiên và trung hoà tích điện.

Các bộ dò sẵn có gồm những gì?
SE (E-T), In-Beam SE/BSE, BSE, STEM và CL (tuỳ chọn), cùng các hệ EDS/EBSD/WDS tích hợp đầy đủ.

MAGNA sử dụng phần mềm nào?
Nền tảng TESCAN Essence™ cho điều khiển SEM và tích hợp phân tích, hỗ trợ bố cục tuỳ biến và điều khiển từ xa.

Tổng quan về TESCAN MAGNA

TESCAN MAGNA kết hợp khả năng hiển vi UHR và tích hợp phân tích trong một nền tảng FEG-SEM ổn định, được thiết kế cho năng suất cao và mức độ chi tiết tối đa trong nghiên cứu vật liệu và bán dẫn.

Video/Webinar liên quan

• Webinar: -
• Video: - 

Liên hệ & Hỗ trợ