EM-Tec EDX-Checker dành cho hệ thống EDX và máy dò BSE:
Hiệu chuẩn nhanh chóng và dễ dàng & kiểm tra độ phân giải cho hệ thống EDX.
Giới thiệu
Bộ kiểm tra EDX-Checker của EM-Tec được phát triển như một công cụ tiết kiệm chi phí để kiểm tra nhanh chóng và dễ dàng hiệu chuẩn, hiệu suất và độ phân giải của hệ thống EDX trên kính hiển vi điện tử quét (SEM). Việc sử dụng thường xuyên EDX-Checker đảm bảo hiệu suất tối ưu của đầu dò EDX. Bộ kiểm tra EDX-Checker của EM-Tec bao gồm một chân đế SEM bằng nhôm tiêu chuẩn với lưới TEM bằng niken và các vật liệu tham chiếu được lựa chọn như Bn, C, PTFE, Mn, Co, Al/Cu và AISI 316L được nhúng trong nhựa epoxy tương thích với môi trường chân không. Chân đế EDX-Checker với các vật liệu tham chiếu được đánh bóng đến độ mịn 0,5 µm và phủ một lớp carbon. Lớp Boron Nitride bổ sung không được phủ carbon:
Mẫu trên là loại: EDX-Checker S-7 với các vật liệu tham chiếu C, PTFE, Mn, Co và Al/Cu cùng lưới Ni có độ phân giải 400 và 1000 mesh để hiệu chuẩn độ phóng đại nhanh và kiểm tra bản đồ. Rất phù hợp cho các kính hiển vi điện tử quét để bàn có tích hợp EDS.

