Hệ thống kính hiển vi luyện kim tích hợp khắc laser định vị mẫu JX3030-LASER hãng Cobekk Metrology (Optical Microscope + Laser Marking Integrated System)

Thiết bị bao gồm sự kết hợp đồng bộ giữa: Kính hiển vi luyện kim quang học Hệ thống khắc laser 532 nm Bàn dịch chuyển chính xác XYZ Phần mềm đo lường và điều khiển Người dùng có thể quan sát mẫu dưới kính hiển vi, lựa chọn vùng quan tâm (ROI) và thực hiện đánh dấu trực tiếp bằng laser. Việc đánh dấu này không yêu cầu độ chính xác tuyệt đối mà tập trung vào định vị tương đối vùng cần phân tích, giúp tiết kiệm thời gian tìm lại vị trí khi chuyển sang SEM.

🔸 Hệ thống cơ khí & chuyển động

• Thiết bị sử dụng kết cấu nhôm đúc nhẹ và chắc chắn, kết hợp bàn làm việc bằng gang có độ ổn định cao.
• Hệ thống dẫn hướng trục XY dạng V và trục Z dạng tuyến tính giúp đảm bảo chuyển động mượt và độ chính xác lâu dài.
• Độ lặp lại cao tới ±0.001 mm
• Hành trình tổng: 300 × 300 × 150 mm
• Vùng làm việc (quan sát + laser): 150 × 300 × 150 mm
• Hệ truyền động sử dụng vít me bi và động cơ servo cho trục Z, giúp định vị chính xác và phản hồi nhanh.

🔸 Hệ thống quang học

• Hệ thống kính hiển vi tích hợp mô-đun quang học trường sáng với chất lượng hình ảnh cao, phù hợp cho quan sát mẫu kim tương.
• Camera: 6 MP (USB 3.0)
• Thị kính: 10X Vật kính: 5X / 10X / 20X / 50X
• Chiếu sáng: LED truyền qua và phản xạ
• Giải pháp này cho phép quan sát rõ ràng bề mặt và cấu trúc mẫu trước khi đánh dấu.

🔸 Hệ thống khắc laser

• 355 nm UV laser , phù hợp cho các vật liệu quang học như thấu kính, lớp phủ và vật liệu nhạy nhiệt.
• Công suất: 5W Chất lượng chùm tia: cao (<0.8 M²)
• Vùng khắc: 150 × 300 mm
• Làm mát: bằng không khí, hoạt động ổn định liên tục
• Laser cho phép đánh dấu nhanh vùng ROI mà không ảnh hưởng đáng kể đến tính chất quang học của mẫu.

🔸Quan sát theo thời gian thực

• Industrial navigation camera
• Adjustable observation angle
• FOV @ 60 mm: 75 × 39 mm
• FOV @ 70 mm: 80 × 45 mm

🔸 Phần mềm đo lường SBK-M

• Phần mềm đi kèm hỗ trợ toàn diện các chức năng đo và xử lý dữ liệu:
• Đo hình học: điểm, đường, cung, diện tích…
• Tự động nhận dạng biên và kiểm tra dung sai
• Xuất báo cáo: Word / Excel / PDF Hỗ trợ CAD (DXF) và thống kê SPC
• Liên kết trực tiếp giữa ROI và hệ thống khắc laser

🔹 Ứng dụng

• Hệ thống đặc biệt phù hợp cho:
• Phân tích mẫu bằng SEM cần định vị chính xác
• Nghiên cứu vật liệu quang học (lens, coating)
• Kiểm tra lỗi bề mặt và vi cấu trúc
• Phòng thí nghiệm R&D và QC/QA

🔹 Ưu điểm nổi bật

• Tích hợp quan sát + đánh dấu trong một hệ thống định vị nhanh vùng ROI cho SEM
• Giảm thời gian tìm lại mẫu không ảnh hưởng đáng kể đến bề mặt mẫu
• Phù hợp vật liệu quang học và linh kiện chính xác