Bộ lọc khí, chất liệu polymer, dùng cho bơm chân không, loại tiêu chuẩn, mã hàng: APE00, hãng Pfeiffer Vacuum

Bộ lọc khí tiêu chuẩn được thiết kế để tích hợp với các dòng bơm chân không của Pfeiffer (như bơm rotary vane hoặc turbomolecular), đóng vai trò bảo vệ toàn bộ hệ thống SEM khỏi các tác nhân gây nhiễm bẩn.

Chức năng chính:

• Loại bỏ hạt bụi, hơi dầu và các tạp chất cơ học trong khí.
• Ngăn ngừa hiện tượng backstreaming (hơi dầu quay ngược vào buồng chân không).
• Bảo vệ các thành phần nhạy cảm như buồng mẫu, detector và cột electron.

Cấu tạo:

• Phần tử lọc (filter element) làm từ vật liệu sợi tổng hợp hoặc sợi thủy tinh hiệu suất cao.
• Vỏ lọc bằng kim loại chịu áp, đảm bảo kín khí và chịu được môi trường chân không.
• Một số loại có tích hợp van bypass hoặc chỉ thị bão hòa.

Vai trò trong hệ SEM:

• Duy trì độ sạch chân không cao, yếu tố then chốt để đảm bảo chất lượng ảnh SEM.
• Giảm thiểu nhiễm bẩn bề mặt mẫu và cột electron.
• Tăng tuổi thọ của bơm và các linh kiện liên quan.

Ứng dụng:

• Sử dụng trong hệ thống SEM, FIB-SEM, hoặc các hệ chân không yêu cầu độ sạch cao.
• Phù hợp với các môi trường nghiên cứu vật liệu, bán dẫn và phân tích bề mặt.

Bảo trì:

• Cần kiểm tra và thay thế định kỳ tùy theo thời gian vận hành và mức độ nhiễm bẩn.
• Việc thay lõi lọc giúp duy trì hiệu suất bơm và tránh suy giảm chân không.