TESCAN MIRA3

MIRA3FE-SEM sử dụng nguồn phát xạ trường Schottky, để đạt độ phân giải cao, độ nhiễu thấp. MIRA3 được phát triển theo công nghệ tiên tiến của SEM. Khả năng thu nhận hình ảnh nhanh hơn, tốc độ quét cực nhanh, có khả năng bù tĩnh, bù động đáp ứng từng nhu cầu sử dụng do người dùng thiết lập.

Độ phân giải cao của FE SEM MIRA3 với cường độ dòng cao có ưu điểm cho các ứng dụng phân tích thành phần như EDX, WDX, EBSD. MIRA3 cũng cho phép quét chụp hình ảnh ở năng lượng điện tử thấp khi tăng cường thêm lựa chọn BDT - Beam Deceleration Technology (Công nghệ giảm tốc chùm tia). Cấu hình của MIRA3 gồm nhiều cỡ buồng khác nhau:  LM, XM và GM với dạng hình học được tối ưu hóa, MIRA3 có khả năng hoạt động ở chân cao và chân không thấp.

Đặc điểm nổi bậc

  • Nguồn phát xạ trường Schottky cho hình ảnh độ phân giải cao, dòng cao, nhiễu thấp
  • Thiết kế cột SEM độc quyền Wide Field Optics™ , kèm với lens trung gian (Intermediate Lens, IML) cung cấp nhiều chế độ quét và hiển thị hình ảnh khác nhau, giúp người dùng thu ảnh tập trung và điều mong muốn như: ảnh trường rộng hay ảnh độ sâu...
  • In-Flight Beam Tracing™ thời gian thực giúp tối ưu hóa hiệu suất và chùm tia, điều này cho phép điều khiển trực tiếp và liên tục vào chùng tia và cường độ dòng cho ứng dụng Beam Deceleration Technology (BDT - Công nghệ giảm tốc chùm tia) giúp đạt độ phân giải cao ở điện thế thấp.
  • Khi sử dụng thêm đầu dò In-Beam, hình ảnh thu được rất tuyệt vời ở khoảng cách làm việc ngắn.


  • Tất cả các loại buồng mẫu của MIRA3 đều được điều khiển điện tử 5 trục, hình dạng được tối ưu phục vụ các ứng dụng phân tích EDX, EBSD
  • Cỡ buồng GM mở rộng có thể chứ các mẫu wafer kích thước lớn (6", 8", 12").
  • Có nhiều cổng mở rộng, được tối ưu hình dạng phù hợp, cho phép gắn các đầu phân tích EDX, WDX, EBSD và nhiều loại đầu phân tích khác
  • Nghiên cứu được mẫu không dẫn điện trong chế độ chân không thay đổi được, ở nhiều mức chân không khác nhau
  • Cho phép lựa chọn loại cách ly buồng mẫu đảm bảo giảm độ rung, giảm ảnh hưởng của môi trường phòng thí nghiệm
  • Phân tích EBSD không biến dạng

TESCAN MIRA3 Microscope

hotline