TESCAN S9000

Độ phân giải và hiệu suất tuyệt vời ở năng lượng chùm tia thấp cho quá trình nghiên cứu nano

TESCAN S9000 là thiết bị phân tích mạnh mẽ cho việc nghiên cứu bề mặt vật liệu nano và cấu trúc nano. Điểm nổi bậc của TESCAN S9000 là cột SEM mới Triglav™ có khả năng cung cấp độ phân giải và hiệu suất cực cao ở năng lượng chùm tia thấp. SEM còn có hệ thống đầu dò chùm tia trong chùm tới (In-Beam) với khả năng lọc cao, giúp mở rộng khả năng tăng độ tương phản và tăng cường độ nhạy với bề mặt mẫu. Ngoài ra, SEM còn trang bị nguồn phát xạ trường FE Schottky có khả năng tạo cường độ dòng tới 400 nA, kết hợp với hiệu suất tuyệt vờ và ổn định của cột SEM mới Triglav™ cung cấp các điều kiện lý tưởng nhất phục vụ phân tích trải dài từ micron đến nghiên cứu các đặc tính mẫu.

 

Hiệu suất vượt trội ở mức năng lượng chùm tia thấp và độ tương phản hình ảnh đa dạng giúp cho TESCAN S9000 trở thành thiết bị lý tưởng cho việc chụp ảnh các loại mẫu không dẫn điện như ceramic, mẫu y sinh học không phủ, cũng như các mẫu nhạy cảm với chùm tia; yêu cầu này rất thường gặp trong ứng dụng của công nghiệp bán dẫn và nghiên cứu vật liệu mới. 

 

TESCAN S9000 được điều khiển bởi phần mềm mới Essence™, được thiết kế thân thiện người dùng, định hướng theo ứng dụng, tùy chỉnh giao diện, tùy chỉnh modules, hướng đến tối thiểu hóa các thao tác, tăng năng lực khai thác sử dụng thiết bị.

Các lợi ích chính

  • Độ phân giải tuyệt vời để giải quyết nghiên cứu nano

Cột SEM độc quyền Triglav™ với thiết kế thấu kính TriLens™ cung cấp độ linh hoạt cao trong phân khúc. Độ phân giải cao được cung cấp bởi hệ thấu kính UH-resolution lens, vô cùng lý tưởng cho các nghiên cứu đặc tính hình thái mẫu, cho phép nhà nghiên cứu giải quyết nghiên cứu nano. Một hệ thống thấu kính phân tích hoàn toàn mới, cho phép chụp ảnh không trường. rất lý tưởng cho việc nghiên cứu các mẫu từ tính và nghiên cứu EDS, EBSD. Một thấu kính thứ 3 cho phép thiết lập nhiều chế độ chụp ảnh khác nhau, và tối ưu hóa điểm quét nhằm đáp ứng tốt quá trình vi phân tích.

 

  • Hình ảnh tương phản khác nhau, tối đa hóa năng lực nghiên cứu

Bộ đầu đo điện tử tán xạ ngược TriBE™ cho phép lựa chọn góc và năng lượng trong thu nhận tín hiệu. Bộ đầu đo Mid-Angle BSEIn-Beam f-BSE được đặt trong cột để phát hiện các điện tử tán xạ ngược có góc tầm trung, trong khi đó, bộ đầu đo BSE Detector trong buồng ghi nhận các điện tử tán xạ góc rộng. Bộ đầu đo điện tử thứ cấp TriSE™ tối ưu tín hiệu cho các chế độ làm việc khác nhau. Bộ đầu đo SE trong chùm tia đặt trong cột SEM cho phép ghi nhận các SE ở khoảng cách làm việc rất ngắn. Bộ đầu đo SE trong chế độ giảm tốc chùm tia cung cấp độ phân giải cực cao trong BDM trong khi đầu đo SE trong buồng cung cấp khả năng ghi nhận độ tương phản hình học tuyệt vời.

 

  • Khả năng thu ảnh được cải thiện và mở rộng

Hệ thống phát hiện điện tử trong chùm tia của thế hệ cột SEM Triglav™ được tối ưu hóa dẫn đến việc phát hiện tín hiệu tăng gấp 3 lần. Hơn nữa, năng lực phát hiện điện tử tán xạ ngược được mở rộng trong chùm tia và lọc theo năng lượng, giờ đây là có thể. Điều này cho phép nghiên cứu mẫu với độ tương phản mới, nhạy cao hơn với bề mặt, thu thập nhiều hơn bằng cách lựa chọn BSEs tổn thất thấp.

  • Điều kiện tốt nhất cho vi phân tích được đảm bảo

Cột SEM thế hệ mới Triglav™ còn cung cấp khả năng tối ưu hóa hình dạng chân chùm tia, kết quả là cải thiện độ phân giải với chùm tia có dòng lớn. Một tính năng như vậy rất có lợi cho các ứng dụng phân tích như EDS, WDS và EBSD. Ngoài ra, nguồn phát xạ trường Schottky FE có khả năng tạo dòng lên tới 400 nA với sự thay đổi năng lượng chùm tia nhanh chóng đảm bảo tín hiệu tuyệt vời cho các ứng dụng vi phân tích

  • Phục vụ các ứng dụng phức tạp dễ hơn bao giờ hết

Phần mềm mới TESCAN Essence™ được đơn giản hóa, giao điện đa người dùng với các cấp độ quản lý khác nhau, cho phép truy cập nhanh các chức năng. Giao diện thân thiện với người dùng này có thể được tinh chỉnh nhanh chóng phù hợp cho từng ứng dụng riêng rẻ và trình độ/sở thích của người sử dụng. Một loạt các modules ứng dụng mở rộng, trình hướng dẫn và công thức giúp cho ứng dụng SEM được trải nghiệm dễ dàng hơn, đơn giản hơn cho các cấp độ người dùng cơ bản và cấp độ chuyên gia. Nhờ vậy, năng lực khai thác và sử dụng SEM được tăng lên tối đa trong phòng thí nghiệm.

hotline