Sự kết hợp độc đáo giữa FIB SEM Plasma và UHR FE-SEM để phân tích đặc tính vật liệu.
- Năng suất hoạt động cao và độ phóng đại lớn
- Khả năng xử lý và phân tích mẫu với diện tích lớn, lên đến 1mm
- Độ phân giải siêu cao với khả năng phân tích và thu nhận ảnh cho trường mẫu rộng của FE-SEM
- Tích hợp đồng thời đầu dò BSE và SE cung cấp thêm nhiều thông tin về thành phần, cấu trúc,...
- Tối ưu hóa độ phân giải cho năng suất cao, thực hiện chụp cắt lớp cho độ phân giải cao với đa phương thức
- Thực hiện chuẩn bị mẫu không nhiễm Ga
- Trường quan sát rộng giúp dễ dàng điều hướng mẫu
- Phần mềm Essence™ dễ dàng sử dụng với giao diện đồ họa bắt mắt
