TESCAN SOLARIS - Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ FIB-SEM

TESCAN SOLARIS

Một giải pháp cho việc chuẩn bị mẫu TEM công nghệ bán tự động, chất lượng cao

  • Thu được hình ảnh của các linh kiện bán dẫn cao cấp với độ phân giải cao ở điện áp thấp
  • Kiểm soát chính xác biên lớp ở điện áp thấp
  • Tối ưu hóa quá trình làm việc để chuẩn bị mẫu siêu mỏng một cách dễ dàng phục vụ TEM
  • Cải thiện chất lượng chuẩn bị mẫu TEM siêu mỏng
  • Tích hợp mô-đun phần mềm bán tự động để chuẩn bị mẫu TEM
  • Thực hiện chuẩn bị mẫu TEM với những hình dạng nâng cao
  • Đặc biệt là sàn mẫu tương thích load-lock cho chuẩn bị mẫu TEM
  • TEM grid chuyên dụng với hình dạng được tối ưu phục vụ cho việc chuẩn bị mẫu TEM tiên tiến

Multiple-site TEM sample preparation

Inverted lamella geometry

HR-TEM image of a “gate-cut” TEM lamella prepared from a 10 nm technology node

Bạn cần thêm thông tin về TESCAN SOLARIS?

Vui lòng liên hệ theo Form này

Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này