Một giải pháp thay thế cho việc chuẩn bị mẫu TEM chất lượng cao với công nghệ bán tự động
- Thu được hình ảnh của các linh kiện bán dẫn cao cấp với độ phân giải cao
- Điểm cuối cùng thu được có độ chính xác cao ngay cả khi năng lượng chùm điện tử thấp
- Cải thiện chất lượng mẫu phục vụ cho việc chuẩn bị mẫu trước khi phân tích bằng TEM
- Tối ưu hóa quá trình làm việc để chuẩn bị mẫu siêu mỏng một cách dễ dàng phục vụ cho phân tích bằng TEM
- Tích hợp mô-đun phần mềm bán tự động để thực hiện chuẩn bị mẫu ở vị trí cụ thể phục vụ cho phân tích bằng TEM
- Thực hiện chuẩn bị mẫu TEM với những hình dạng nâng cao
- Giá đỡ chuyên dụng với hình dạng được tối ưu hóa hoàn toàn phục vụ cho việc chuẩn bị mẫu TEM
Multiple-site TEM sample preparation
Inverted lamella geometry
HR-TEM image of a “gate-cut” TEM lamella prepared from a 10 nm technology node
Yêu cầu báo giá - SEM TESCAN
