Một giải pháp thay thế cho việc chuẩn bị mẫu TEM chất lượng cao với công nghệ bán tự động

TESCAN SOLARIS
  • Thu được hình ảnh của các linh kiện bán dẫn cao cấp với độ phân giải cao
  • Điểm cuối cùng thu được có độ chính xác cao ngay cả khi năng lượng chùm điện tử thấp
  • Cải thiện chất lượng mẫu phục vụ cho việc chuẩn bị mẫu trước khi phân tích bằng TEM
  • Tối ưu hóa quá trình làm việc để chuẩn bị mẫu siêu mỏng một cách dễ dàng phục vụ cho phân tích bằng TEM
  • Tích hợp mô-đun phần mềm bán tự động để thực hiện chuẩn bị mẫu ở vị trí cụ thể phục vụ cho phân tích bằng TEM
  • Thực hiện chuẩn bị mẫu TEM với những hình dạng nâng cao
  • Giá đỡ chuyên dụng với hình dạng được tối ưu hóa hoàn toàn phục vụ cho việc chuẩn bị mẫu TEM

Multiple-site TEM sample preparation

Inverted lamella geometry

HR-TEM image of a “gate-cut” TEM lamella prepared from a 10 nm technology node

Yêu cầu báo giá - SEM TESCAN

hotline