TESCAN SOLARIS X - Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ FIB-SEM

TESCAN SOLARIS X

Nền tảng FIB SEM plasma cho phép nghiên cứu mặt ngang sâu, độ phân giải điểm cuối cao, phục vụ nghiên cứu phân tích lỗi giai đoạn đóng gói

  • Phân tích các lỗi sai vật lý từ mặt cắt ngang của mẫu với diện tích lớn do phát sinh từ công nghệ đóng gói 
  • Mặt cắt ngang có diện tích lớn, độ rộng lên đến 1mm
  • Thu được hình ảnh có độ phân giải cao, độ nhiễu thấp 
  • Ảnh Live SEM được thu nhận trong suốt quá trình thực hiện FIB
  • Quan sát hầu hết các vật liệu nhạy với chùm điện tử độ phân giải cao và năng lượng (keVs) thấp
  • Các kỹ thuật và công thức hiệu quả, tạo mặt cắt ngang nhanh chóng các mẫu phức tạp (màn hình OLED và TFT, thiết bị MEMS, điện môi) ở cường độ dòng lớn.
  • Phần mềm Essence™ dễ dàng sử dụng với giao diện đồ họa

Cross-section of a TSV array

Cross-section of a sensor MEMS device

STEM-BF image of an 80 nm thick TEM lamella from a 65 nm DRAM node

Bạn cần thêm thông tin về TESCAN SOLARIS X?

Vui lòng liên hệ theo Form này

Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này
Vui lòng nhập trường này