TESCAN AMBER X - Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ FIB-SEM

TESCAN AMBER X - Nền tảng Plasma FIB-SEM được tối ưu hóa để khử chất lượng cao các thiết bị bán dẫn hiện đại nhất bằng hóa chất độc quyền

Tính năng nổi bật

• Chụp ảnh có độ phân giải cao ở mức năng lượng thấp (Low-kV), tăng cường độ tương phản địa hình các lớp của mẫu
• Sử dụng công nghệ phân giải cao không trường để chụp ảnh các cạnh biên của chip bóc hoặc cắt các lớp
• Sử dụng hóa chất khí chuyên dụng và độc quyền để xử lý đế 14 nm
• Mô-đun phần mềm End-pointing giúp xử lý bán tự động, cho phép dừng quá trình xử lý ở tại lớp bất kỳ theo yêu cầu của người dùng.
• Sử dụng nanoprobing tại chỗ để phân tích đặc tính điện của các thiết bị bán dẫn nhạy
• Giao diện phần mềm sinh động, dễ sử dụng, đa chức năng với nhiều mô-đun ứng dụng khác nhau

Hình ảnh ứng dụng tiêu biểu