Giới thiệu
Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ (Focused Ion Beam Scanning Electron Microscopy) (FIB-SEM) kết hợp 2 chùm tia (chùm điện tử và chùm ion) trong một hệ thống. Cột SEM cung cấp chức năng quét hình ảnh có độ phân giải cao, còn cột FIB có chức năng tác động dạng bắn phá bề mặt mẫu sâu vào lớp bên trong phục vụ việc nghiên cứu. Hệ thống 2 chùm tia FIB-SEM đã mở ra cho thế giới các khả năng mới, để thực hiện các ứng dụng mà trước đây không thể thực hiện trên hệ thống SEM đơn lẻ.
Thiết lập trong hệ thống FIB-SEM là đưa tiêu điểm của chùm ion và chùm điện tử trùng nhau, giúp thu kết quả tối ưu trong nhiều ứng dụng. Bằng cách này, việc quét ảnh bởi SEM là đồng thời với việc bắn phá bề mặt bởi FIB, -một bước nhảy vọt đáng kể về năng lực và hiệu suất cao cho các thao tác FIB luôn đòi hỏi độ chính xác rất cao.
TESCAN cung cấp 2 loại nguồn ion plasma khác nhau cho hệ FIB: ion plasma Gallium và ion plasma Xenon. Nguồn ion plasma Ga FIB dành cho tất cả các ứng dụng cần độ chính xác cao trong các thao tác nano và chế tác nano. Trong khi đó, nguồn plasma ion Xe FIB cho dòng ion cao hơn, giúp bắn phá lượng vật liệu lớn trong thời gian ngắn hơn 50 lần so với nguồn ion plasma Ga FIB. Về độ chính xác, ion plasma Xe FIB có độ phân giải cao, có thể đạt được <15nm, phục vụ các thao tác nhạy, các ứng dụng yêu cầu kết hợp sức mạnh và độ chính xác.
Một loạt các hệ thống FIB-SEM của TESCAN được cung cấp để đáp ứng nhu cầu đa dạng của khách hàng: từ các ứng dụng công nghiệp cơ bản, đến các ứng dụng tiên tiến và ứng dụng đầy thử thách, đòi hỏi tiêu chuẩn cao nhất về việc quét hình ảnh và các chế tác micro/nanomet trong các qui trình công việc phức tạp.
FIB-SEM cho Khoa học Vật liệu
Kính hiển vi điện tử quét chùm ion hội tụ (FIB-SEM) đã trở thành một thiết bị thiết yếu cho Khoa học và Công nghệ Vật liệu. TESCAN cung cấp đầy đủ các hệ thống quan trọng, chìa khóa trao tay, giúp các nhà khoa học nghiên cứu về Khoa học vật liệu phát triển và đạt được những mục tiêu của mình.
Bằng cách cung cấp đầy đủ các công cụ hỗ trợ nghiên cứu, TESCAN đã đáp ứng đầy đủ các cam kết của chúng tôi là giúp ngành Khoa học Vật liệu tiên tiến phát triển mạnh mẽ.
TESCAN AMBER X
TESCAN AMBER
TESCAN SOLARIS
FIB-SEM cho Khoa học sự sống
Công nghệ quét thu ảnh SEM chất lượng cao, mang đến giải pháp nghiên cứu hoàn chỉnh cho mọi lãnh vực nghiên cứu khoa học. Bất kể loại mẫu và kích cỡ mẫu như thế nào, và câu hỏi đang được hỏi là gì, luôn có giải pháp chuyên dụng để nghiên cứu tìm câu trả lời. Do tính linh hoạt và thiết kế tùy biến cao trong tất cả các hệ SEM của TESCAN, nên chúng tôi dễ dàng chế tạo nên những hệ SEM chuyên dụng, phù hợp, đáp ứng chính xác nhu cầu của khách hàng.
Các hệ thống hiện có đang đáp ứng rất rộng các nhu cầu về thu ảnh độ phân giải cao, hoạt động ở chế độ chân không thay đổi, chụp cắt lớp 3D, và các giải pháp phức tạp bao gồm kính hiển vi lai quang học - điện tử, hoặc các kỹ thuật đông lạnh mẫu...
TESCAN AMBER cryo
TESCAN SOLARIS
FIB-SEM cho Điện tử - Bán dẫn
Ngành công nghiệp điện tử bán dẫn đang tham gia vào một cuộc đua không ngừng nghỉ với mục tiêu nâng cao năng lực tích hợp, mật độ cao và thu nhỏ các linh kiện. Điều này dẫn đến sự phát triển của các công nghệ mới như chip IC 3D cho phép tích hợp chức năng mở rộng và các thiết bị nhỏ hơn, tiêu thụ điện năng nhỏ hơn, nhanh hơn...
Tuy nhiên, các mạch tích hợp nhỏ và phức tạp này luôn đòi hỏi các công cụ tinh vi hơn để nghiên cứu phát triển, tạo sản phẩm mẫu, kiểm tra và phân tích lỗi để hỗ trợ tiếp cận vào các lãnh vực quan tâm.
TESCAN AMBER X
TESCAN SOLARIS
TESCAN SOLARIS X
Bạn cần thêm thông tin về FIB-SEM TESCAN?
Vui lòng liên hệ theo Form này
Sản phẩm cùng danh mục (Electron Microscopy)
SEM & FE-SEMKính hiển vi điện tử quét
FIB-SEMFocused Ion Beam SEM
TEMKính hiển vi điện tử truyền qua
